用于磁化学传感器的自对准表面改性制造技术

本文公开了检测设备及其制造方法。一种检测设备包括流体区域、用于检测磁性颗粒的磁化学传感器和耦合到该磁化学传感器的电极，该电极用于读取该磁化学传感器。位于该电极上的反应层的表面被功能化为吸引该流体区域内的该磁性颗粒，并且/或者该流体区域的不位于该电极上方的区被功能化为排斥该磁性颗粒。用于图案化该电极的相同掩模可用于图案化该反应层以确保与该电极对准。另一种检测设备将该反应层嵌入传感器叠堆中并且经由沟槽暴露该反应层的表面。暴露表面可被功能化为将磁性颗粒朝向该磁化学传感器吸引。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

1、磁化学传感器可用于各种应用中以通过例如检测耦合到化学或生物制剂的磁性颗粒的存在来检测化学或生物制剂的存在。磁性颗粒可以是例如磁性纳米颗粒等。

2、由于磁性颗粒较小并且生成小的局部磁场，因此使用磁化学传感器的一个挑战是使磁性颗粒足够接近磁化学传感器以允许检测它们的磁场。

技术实现思路

1、本概述表示本公开的非限制性实施方案。

2、在一些方面，本文所述的技术涉及一种检测设备，包括：流体区域；磁化学传感器，该磁化学传感器用于检测磁性颗粒；和电极，该电极耦合到该磁化学传感器，该电极用于读取该磁化学传感器，其中：(a)反应层位于该电极上，并且该反应层在该流体区域内的表面被功能化为吸引磁性颗粒，或者(b)该流体区域的不位于该电极上方的区被功能化为排斥磁性颗粒，或者(c)(a)和(b)两者。

3、在一些方面，本文所述的技术涉及一种检测设备，其中该反应层位于该电极上，并且该反应层在该流体区域内的该表面被功能化为吸引磁性颗粒，并且其中该反应层的布局与该电极的布局基本上相同。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种检测设备，包括：

2.根据权利要求1所述的检测设备，其中所述反应层位于所述电极上，并且所述反应层在所述流体区域内的所述表面被功能化为吸引所述磁性颗粒，并且其中所述反应层的布局与所述电极的布局基本上相同。

3.根据权利要求2所述的检测设备，其中所述磁化学传感器是包括在所述检测设备中的多个磁化学传感器中的一个磁化学传感器。

4.根据权利要求3所述的检测设备，其中所述多个磁化学传感器按矩形阵列布置，并且其中所述电极与所述矩形阵列的行或列对准。

5.根据权利要求1所述的检测设备，其中所述反应层位于所述电极上，并且所述反应层在所述流体区域内的...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种检测设备，包括：

2.根据权利要求1所述的检测设备，其中所述反应层位于所述电极上，并且所述反应层在所述流体区域内的所述表面被功能化为吸引所述磁性颗粒，并且其中所述反应层的布局与所述电极的布局基本上相同。

3.根据权利要求2所述的检测设备，其中所述磁化学传感器是包括在所述检测设备中的多个磁化学传感器中的一个磁化学传感器。

4.根据权利要求3所述的检测设备，其中所述多个磁化学传感器按矩形阵列布置，并且其中所述电极与所述矩形阵列的行或列对准。

5.根据权利要求1所述的检测设备，其中所述反应层位于所述电极上，并且所述反应层在所述流体区域内的所述表面被功能化为吸引所述磁性颗粒，并且其中所述反应层包含钌(ru)、铑(rh)、钯(pd)、银(ag)、锇(os)、铱(ir)、铂(pt)或金(ag)中的一者或多者。

6.根据权利要求1所述的检测设备，其中所述磁化学传感器包括：

7.根据权利要求1所述的检测设备，其中所述磁化学传感器包括磁阻传感器。

8.根据权利要求1所述的检测设备，其中所述反应层位于所述电极上，并且所述反应层在所述流体区域内的所述表面被功能化为吸引所述磁性颗粒，并且其中所述电极和所述反应层位于所述磁化学传感器上方。

9.一种制造用于检测磁性颗粒的设备的方法，所述方法包括：

10.根据权利要求9所述的方法，还包括：

11.一种用于检测磁性颗粒的检测设备，包括：

12.根据权利要求11所述的检测设备，其中所述反应层位于所述传感器叠堆的覆盖层中，并且所...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·贝多，N·L·罗伯逊，
申请(专利权)人：西部数据技术公司，
类型：发明
国别省市：