【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子化学品,尤其涉及一种电子级盐酸的制备方法及制备装置。
技术介绍
1、随着国内半导体产业的不断发展,对电子级盐酸的需求日益提高,目前电子级盐酸的制备方法多为盐酸解析后再用高纯水吸收。盐酸解析的方法主要有氯化钙法、差压法和常压解析法,其中氯化钙法和差压法可以实现全解析,但氯化钙法需要额外引入破共沸剂氯化钙,流程复杂,系统稳定性对操作要求高,差压法操作稳定性好,但能耗高,常压解析法流程简单,能耗低,稳定性好,但无法完全解析。
技术实现思路
1、本专利技术解决的技术问题是常压解析法无法实现全解析。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:
3、一种电子级盐酸的制备装置,包括相连的氯化氢合成单元、第一吸收单元、脱析单元以及第二吸收单元;其中,
4、所述氯化氢合成单元以及所述脱析单元均通过管路与所述第一吸收单元相连,且所述脱析单元通过至少两条管路与所述第一吸收单元相连;
5、所述脱析单元通过管路与所述第二吸收单元相连。
< ...【技术保护点】
1.一种电子级盐酸的制备装置,其特征在于,包括相连的氯化氢合成单元(1)、第一吸收单元(2)、脱析单元(3)以及第二吸收单元(4);其中,
2.如权利要求1所述的电子级盐酸的制备装置,其特征在于,所述第一吸收单元(2)包括依次通过管路相连的粗HCl吸收塔(21)、第一循环泵(22)以及第一冷却器(23);所述第一冷却器(23)的物料出口通过管路与所述脱析单元(3)相连。
3.如权利要求2所述的电子级盐酸的制备装置,其特征在于,所述第一吸收单元(2)还包括与所述粗HCl吸收塔(21)相连的氧化剂配制罐(24)。
4.如权利要求3所述的
...【技术特征摘要】
1.一种电子级盐酸的制备装置,其特征在于,包括相连的氯化氢合成单元(1)、第一吸收单元(2)、脱析单元(3)以及第二吸收单元(4);其中,
2.如权利要求1所述的电子级盐酸的制备装置,其特征在于,所述第一吸收单元(2)包括依次通过管路相连的粗hcl吸收塔(21)、第一循环泵(22)以及第一冷却器(23);所述第一冷却器(23)的物料出口通过管路与所述脱析单元(3)相连。
3.如权利要求2所述的电子级盐酸的制备装置,其特征在于,所述第一吸收单元(2)还包括与所述粗hcl吸收塔(21)相连的氧化剂配制罐(24)。
4.如权利要求3所述的电子级盐酸的制备装置,其特征在于,所述脱析单元(3)包括脱析塔(31)、脱析再沸器(32)、第一预热器(33)以及第二冷却器(34);所述脱析塔(31)、所述脱析再沸器(32)、所述第一预热器(33)、所述第二冷却器(34)以及所述粗hcl吸收塔(21)依次通过管路相连。
5.如权利要求4所述的电子级盐酸的制备装置,其特征在于,所述脱析单元(3)还包括冷凝模块...
【专利技术属性】
技术研发人员:钊文科,罗斯格,李睿,
申请(专利权)人:无锡英罗唯森科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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