一种洁净热风烘干硅料槽制造技术

本技术属于硅片烘干技术领域，具体涉及一种洁净热风烘干硅料槽，包括：烘干箱，所述烘干箱的内部中空，所述烘干箱的底部设置有回风口，所述烘干箱内插接有硅片花篮；设置在所述烘干箱的侧壁的进风箱，所述进风箱与所述烘干箱连通，所述进风箱的侧壁设置有进风管，以及所述进风箱内设置有过滤网片，所述过滤网片的侧壁贴合所述进风箱的内壁，以使所述过滤网片的后端为洁净区；通过设置过滤网片，过滤网片耐高温，热风通过进风管通入进风箱，进风箱内的过滤网片能对热风中的杂质、粉料等进行过滤，使得洁净的热风通入烘干箱然后对硅片花篮内的硅片进行烘干，提高了烘干的硅料的洁净度，从而提高硅料的生产质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅片烘干，具体涉及一种洁净热风烘干硅料槽。

技术介绍

1、硅片在生产过程中需要切片、酸洗、粘胶、清洗、烘干的流程，现有的硅料在烘干过程中，使用热风对其烘干，但是由于热风中混杂有杂质、粉料等，会导致烘干后的洁净度不高；

2、因此，提供一种能够对热风进行过滤，以使烘干完成后硅料的洁净度较高的洁净热风烘干硅料槽是很有必要的。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种能够对热风进行过滤，以使烘干完成后硅料的洁净度较高的洁净热风烘干硅料槽。

2、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种洁净热风烘干硅料槽，包括：烘干箱，所述烘干箱的内部中空，所述烘干箱的底部设置有回风口，所述烘干箱内插接有硅片花篮；设置在所述烘干箱的侧壁的进风箱，所述进风箱与所述烘干箱连通，所述进风箱的侧壁设置有进风管，以及所述进风箱内设置有过滤网片，所述过滤网片的侧壁贴合所述进风箱的内壁，以使所述过滤网片的后端为洁净区。

3、进一步地，所述烘干箱的侧壁设置有一对第一定位架，所述第一定位架的底部能够承托所述硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种洁净热风烘干硅料槽，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的洁净热风烘干硅料槽，其特征在于，

3.如权利要求2所述的洁净热风烘干硅料槽，其特征在于，

4.如权利要求3所述的洁净热风烘干硅料槽，其特征在于，

5.如权利要求4所述的洁净热风烘干硅料槽，其特征在于，

6.如权利要求5所述的洁净热风烘干硅料槽，其特征在于，

7.如权利要求6所述的洁净热风烘干硅料槽，其特征在于，

8.如权利要求7所述的洁净热风烘干硅料槽，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种洁净热风烘干硅料槽，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的洁净热风烘干硅料槽，其特征在于，

3.如权利要求2所述的洁净热风烘干硅料槽，其特征在于，

4.如权利要求3所述的洁净热风烘干硅料槽，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，申斌，鞠璐平，谈丽文，成旭，史可可，谢加洋，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：

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