【技术实现步骤摘要】
本技术为提供一种晶舟盒储存装置，尤指一种可独立针对其中一个晶舟盒进行开启门盖动作，且可存放多种不同种类的晶舟盒，并可有效防止外部粉尘进入储存装置内的晶舟盒储存装置。
技术介绍
1、现如今电子产品蓬勃发展，电子元件的需求日益提升，因此带动半导体厂的扩建及提升生产效率，其中，晶圆的保存尤其重要，如晶圆保存完善，其将连带使得后续生产作业顺利且提升良率，然而，过去晶圆的保存大多不具系统化，其不仅设计复杂且提高成本的支出。
2、为此，有厂商研发出一种可存放多个晶舟盒的储存装置，主要将多个同型号的晶舟盒存放于储存装置内，当有需要对晶舟盒内的晶圆片取出至其他设备进行其他制程或取放时，通过开门装置可将全部的晶舟盒的门盖做开启动作，使机械手臂可从晶舟盒内将晶圆片取出。
3、然而，上述储存装置在使用时，确实存在下列问题与缺点尚待改进：
4、虽可储存多个晶舟盒，但仅能储存同一种种类的晶舟盒，倘若放入不同种类的晶舟盒于储存装置内，将会导致开门装置无法对晶舟盒的门盖进行开启动作，或发生开门误动作问题，且若仅需针对其中一个晶舟盒...
【技术保护点】
1.一种晶舟盒储存装置，其特征在于，主要包括：
2.如权利要求1所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述晶舟盒的种类为手动门盖晶舟盒或自动门盖晶舟盒。
3.如权利要求2所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述晶舟盒的种类为尺寸相异晶舟盒，且需进行开启设于晶舟盒的门盖动作时，控制基板在所述储存模块内读取晶舟盒的种类讯息，并依据种类讯息来控制升降装置运作，使承载台根据承载台位置讯息，移动至指定位置且门盖的位置得以完全对应开门装置，驱使开门装置可对门盖进行开启动作。
4.如权利要求1所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述平台装置具有轨道组、设...
【技术特征摘要】
1.一种晶舟盒储存装置，其特征在于，主要包括：
2.如权利要求1所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述晶舟盒的种类为手动门盖晶舟盒或自动门盖晶舟盒。
3.如权利要求2所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述晶舟盒的种类为尺寸相异晶舟盒，且需进行开启设于晶舟盒的门盖动作时，控制基板在所述储存模块内读取晶舟盒的种类讯息，并依据种类讯息来控制升降装置运作，使承载台根据承载台位置讯息，移动至指定位置且门盖的位置得以完全对应开门装置，驱使开门装置可对门盖进行开启动作。
4.如权利要求1所述的晶舟盒储存装置，其特征在于，所述平台装置具有轨道组、设于所述轨道组一侧的平台驱动装置、及活动设于所述轨道组上，并可受平台驱动装置带动而在所述轨道组上水平往复移动的平台，所述平台上设有辨识元件。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕忠宪，张任玮，林柏彣，吕呈祥，佐佐木大辅，
申请(专利权)人：乐华科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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