【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及隔振，特别是涉及一种三角型六自由度主动隔振平台。
技术介绍
1、在超精密加工制造领域，以光刻机为代表的尖端加工装备对于工作环境的平稳性要求极为苛刻，其内部的核心部件如激光干涉仪、光刻投影物镜等均对环境微振动极为敏感，如果不对微振动进行有效控制，核心部件的工作精度将受到极大影响，影响最终的加工精度。传统的被动隔振技术在低频范围内控制效果有限，已无法满足部分高精密设备的隔振需求。近年来的研究中，具有高静刚度、低动刚度的非线性隔振器可以有效的拓宽隔振频率范围，提高隔振效果。
2、尽管被动隔振系统具有可靠性高、成本相对较低且不需要外部能量的优势，但在尖端加工装备及尖端科学实验系统中，都采用主动隔振技术进一步提升隔振性能，但是只利用主动隔振进行振动控制能源消耗巨大，而且主动隔振宽频带隔振效果较差；为了充分发挥上述两类隔振技术的优点，近来有研究者提出了主被动混合隔振技术，可以通过主、被动隔振元件的组合设计，改善被动隔振低频隔振效果较差的缺点，同时以较低的成本隔离振动，可以较好地满足工程需求。
3、主被动混合隔振...
【技术保护点】
1.一种三角型六自由度主动隔振平台，其特征在于，包括支撑底座、承载板、连接板、侧向支撑座、水平音圈电机、垂向音圈电机、高静低动阻尼件以及弹簧，所述侧向支撑座呈条形柱体，所述侧向支撑座设置在所述支撑底座与所述承载板之间，三个所述侧向支撑座围设形成三角形结构，所述侧向支撑座底部通过并联设置的所述垂向音圈电机与所述高静低动阻尼件与所述支撑底座连接，相邻所述侧向支撑座之间均垂向设置有所述连接板，所述侧向支撑与所述连接板一一对应连接，所述侧向支撑座通过并联设置的所述水平音圈电机以及所述弹簧与所述连接板连接，所述侧向支撑座对应所述水平音圈电机以及所述垂向音圈电机的位置均安装有加速
<...【技术特征摘要】
1.一种三角型六自由度主动隔振平台，其特征在于，包括支撑底座、承载板、连接板、侧向支撑座、水平音圈电机、垂向音圈电机、高静低动阻尼件以及弹簧，所述侧向支撑座呈条形柱体，所述侧向支撑座设置在所述支撑底座与所述承载板之间，三个所述侧向支撑座围设形成三角形结构，所述侧向支撑座底部通过并联设置的所述垂向音圈电机与所述高静低动阻尼件与所述支撑底座连接，相邻所述侧向支撑座之间均垂向设置有所述连接板，所述侧向支撑与所述连接板一一对应连接，所述侧向支撑座通过并联设置的所述水平音圈电机以及所述弹簧与所述连接板连接，所述侧向支撑座对应所述水平音圈电机以及所述垂向音圈电机的位置均安装有加速度传感器。
2.根据权利要求1所述的三角型六自由度主动隔振平台，其特征在于，三个所述水平音圈电机位于同一水平面上，三个所述水平音圈电机等间距设置，三个所述垂向音圈电机等间距设置。
3.根据权利要求1所述的三角型六自由度主动隔振平台，其特征在于，所述高静低动阻尼件包括弹簧底座以及弧形片弹簧，所述底座两端开设有插槽，所述弧形片弹簧的两端分别插入两个所述插槽内，所述弹簧底座与所述支撑底座螺栓连接，所述弧形片弹簧的中部与所述侧向支撑座螺栓连接。
4.根据权利要求1所述的三角型六自由度主动隔振平台，其特征在于，所述连接板底端与所述支撑底座螺栓连接，顶端与所述承载板螺栓...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆泽琦，贺佐潦霜，丁虎，陈立群，
申请(专利权)人：浙江零振智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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