【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片加工设备，尤其是指一种链式刻蚀机的运输装置。
技术介绍
1、太阳能电池，也被称为太阳能芯片或光电池，是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它能够在光照下瞬间产生电压，并在有回路的情况下产生电流，太阳能电池片是太阳能光伏系统的核心组件，其制造过程包括制绒、扩散、刻蚀、镀膜、丝网印刷和测试分选等步骤。
2、在制造过程中，刻蚀工序起到去除硅片背面和侧面pn结的作用，从而实现正面与背面的绝缘。目前，比较常用的是renaniak3链式刻蚀机，这种设备利用hf/hno3/h2so4体系，在表面张力和毛吸作用力的作用下，去除边缘和背面的pn结，使电池正面和背面绝缘，正面未受到粘液污染。
3、传统renaniak3链式刻蚀机采用滚轮式的输送机构来输送硅片，该机构由三段运输机构组成，每段运输机构包括多个滚轮，多个滚轮均匀布置在600mm的两个支架之间，且间隔设置为50mm，每个滚轮均可自由转动，并通过联动机构实现同步传动。在操作过程中，硅片将置于相邻两个滚轮之间，借助滚轮间的粘滞作用和狭长间隙，硅片能够依靠滚轮之...
【技术保护点】
1.一种链式刻蚀机的运输装置，包括多个滚轮以及等长的内支架和外支架，多个滚轮等距间隔连接在所述内支架和所述外支架之间，其特征在于：相邻所述滚轮之间的距离为40mm，所述外支架的外侧固定有多个固定座，多个所述固定座之间可转动连接有一传动轴，所述传动轴上设置有多组用于驱动相邻两个所述滚轮同步转动的同步机构。
2.根据权利要求1所述的一种链式刻蚀机的运输装置，其特征在于：所述同步机构包括第一齿轮和两个第二齿轮，所述滚轮的一端伸出所述外支架后与对应所述第二齿轮相固定，所述第一齿轮分别与两个所述第二齿轮相啮合，所述传动轴上还设置有用于驱动所述第一齿轮或其中一个所述第...
【技术特征摘要】
1.一种链式刻蚀机的运输装置，包括多个滚轮以及等长的内支架和外支架，多个滚轮等距间隔连接在所述内支架和所述外支架之间，其特征在于：相邻所述滚轮之间的距离为40mm，所述外支架的外侧固定有多个固定座，多个所述固定座之间可转动连接有一传动轴，所述传动轴上设置有多组用于驱动相邻两个所述滚轮同步转动的同步机构。
2.根据权利要求1所述的一种链式刻蚀机的运输装置，其特征在于：所述同步机构包括第一齿轮和两个第二齿轮，所述滚轮的一端伸出所述外支架后与对应所述第二齿轮相固定，所述第一齿轮分别与两个所述第二齿轮相啮合，所述传动轴上还设置有用于驱动所述第一齿轮或其中一个所述第二齿轮转动的驱动单元。
3.根据权利要求2所述的一种链式刻蚀机的运输装置，其特征在于：所述驱动单元包括第一锥齿轮和与所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮，所述第一锥齿轮同轴固定在所述传动轴上，所述第二锥齿轮同轴固定在所述滚...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟，沈茂田，
申请(专利权)人：上海复驰信息科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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