一种空气洁净度校准检测装置及方法制造方法及图纸

技术编号:41799415 阅读:25 留言:0更新日期:2024-06-24 20:22
本发明专利技术涉及空气检测技术领域,具体涉及一种空气洁净度校准检测装置及方法,包括光源、准直透镜、半透镜、校准镜头、全反射镜、度和第二角度的第一转台、检测镜头、及用于转动检测镜头朝向第三角度和第四角度的第二转台;半透镜将一束准直光柱分成两束,其中一束被校准镜头采集,另一束被一全反射镜反射,反射后照射待检测区域,检测镜头采集待检测区域内的光强;检测镜头采集全反射镜反射的准直光柱所照射区域的光强数据,检测周期完成后,调动检测镜头位于一洁净的光路中,记录在该洁净光路中受污染后的检测镜头所接受的光强,比较检测镜头相比于校准镜头采集光强的衰减量,再通过校准光强数值,得到准确的检测光强以分析颗粒物浓度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及空气检测,具体涉及一种空气洁净度校准检测装置及方法


技术介绍

1、半导体制造、精密仪器加工、生物制药等现代工业厂房对空气洁净度有着严苛要求,准确、及时地监测空气中的颗粒物浓度是确保产品质量、维护生产环境安全的基础。通过光学手段分析光束穿过空气样本时发生的散射现象来推算颗粒物含量,具有响应速度快、非接触测量的优点。然而,光学手段在长时间运行或污染严重的环境条件变化下,空气中的微尘、油雾、化学蒸汽等污染物极易附着在光学部件上,导致光强衰减或散射模式改变,影响测量精度,一旦镜头污染未被及时发现,会导致连续的测量误差,影响数据的可靠性,限制了该种光学手段分析空气洁净度方法在快速变化环境中的适用性,而通过人工维护光学部件进行清洁,成本过高;

2、为了解决镜头污染问题,市场上出现了一些配备有过滤系统的监测设备,以及尝试在光学路径中引入自清洁机制的设计,如振动去尘、气流吹扫等。然而,这些措施维护成本高,效果有限,无法从根本上解决在复杂环境下持续工作的稳定性问题。

3、在申请号为cn2019200497489的中国专利技术专利中提出本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种空气洁净度校准检测装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种空气洁净度校准检测装置,其特征在于,还包括:

3.根据权利要求2所述的一种空气洁净度校准检测装置,其特征在于,还包括:

4.根据权利要求3所述的一种空气洁净度校准检测装置,其特征在于,所述第一通孔处设置有密封透镜,所述封闭壳体内固定有气缸,所述气缸的下端固定有插板,所述封闭壳体内第二通孔的两侧设置有插槽,所述插板能够受气缸驱动而插拔于插槽内以启闭第二通孔。

5.根据权利要求4所述的一种空气洁净度校准检测装置,其特征在于,还包括空气净化器,所述空气净化器与封闭壳体...

【技术特征摘要】

1.一种空气洁净度校准检测装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种空气洁净度校准检测装置,其特征在于,还包括:

3.根据权利要求2所述的一种空气洁净度校准检测装置,其特征在于,还包括:

4.根据权利要求3所述的一种空气洁净度校准检测装置,其特征在于,所述第一通孔处设置有密封透镜,所述封闭壳体内固定有气缸,所述气缸的下端固定有插板,所述封闭壳体内第二通孔的两侧设置有插槽,所述插板能够受气缸驱动而插拔于插槽内以启闭第二通孔。

5.根据权利要求4所述的一种空气洁净度校准检测装置,其特征在于,还包括空气净化器,所述空气净化器与封闭壳体内部连通,用以净化封闭壳体内的漂浮颗粒物。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的一种空气洁净度校准检测装置,其特征在于,还包括控制单元和警报单元,所述控制单元用于接收、分析记录、存储和传输校准镜头和检测镜头检测到的光强数据信号,所述警报单元与控制单元连接、用以在初始光强误差大于预设阈值...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘柏松罗朗孔建平梅凯华胡开峰徐永佶
申请(专利权)人:江苏中洁信环境工程有限公司
类型:发明
国别省市:

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