一种电子级混气配气装置制造方法及图纸

本申请公开了一种电子级混气配气装置，属于气体检测设备的技术领域，其技术方案要点是包括壳体，所述壳体包括：进气罐，包括调压装置；配气罐，包括清理装置与混合装置；储气罐，包括真空泵与缓冲罐；其中，所述配气罐设置有进气孔与出气孔，进气孔与调压装置之间连接，出气孔与真空泵之间连接，配气罐与调压装置之间连接，真空泵与缓冲罐之间连接。本申请提供了一种电子级混气配气装置，其设置有调压装置与清理装置，能有效提升混合气体的质量。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于气体检测设备的，尤其涉及一种电子级混气配气装置。

技术介绍

1、在很多化工企业，尤其是生产高纯/超纯气体的化工厂，在制备气体的过程中，当涉及制备电子级混合气体时需要采用配置装置来控制所需制备的混合气体中各气体的含量。

2、现有公开号为cn212942328u的中国专利，其公开了一种用于配气的气体混合装置，包括混合箱、密封盖、支柱、搅拌混合机构、循环混合机构和加热机构，所述密封盖固定安装在混合箱顶端，所述支柱固定安装在混合箱下表面两侧，所述搅拌混合机构包括混合电机和旋转轴，所述混合箱顶端设有电机架，所述电机架通过密封盖与混合箱固定连接，所述混合电机固定安装在电机架上。

3、上述气体混合装置虽然能将气体充分混合，并设置加热机构升温气体以增加气体混合效果，但是其并不具备调压与清理功能，气体在输送过程中会压力不平衡，影响混合气体的质量，且储气罐内未被清理的残余气体也会影响混合气体的质量。

技术实现思路

1、本申请的目的是针对上述存在的技术问题，提供一种电子级混气配气装置，其设置有调压本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子级混气配气装置，包括壳体(100)，其特征在于，所述壳体(100)包括：

2.根据权利要求1所述的一种电子级混气配气装置，其特征在于，所述清理装置(600)包括：

3.根据权利要求2所述的一种电子级混气配气装置，其特征在于，所述检测机构(650)包括：

4.根据权利要求3所述的一种电子级混气配气装置，其特征在于，所述调压装置(500)包括：

5.根据权利要求4所述的一种电子级混气配气装置，其特征在于，所述混合装置(700)包括：

6.根据权利要求5所述的一种电子级混气配气装置，其特征在于，所述配气罐(300)的底部与...

【技术特征摘要】

1.一种电子级混气配气装置，包括壳体(100)，其特征在于，所述壳体(100)包括：

2.根据权利要求1所述的一种电子级混气配气装置，其特征在于，所述清理装置(600)包括：

3.根据权利要求2所述的一种电子级混气配气装置，其特征在于，所述检测机构(650)包括：

4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙芳，李相矩，栗鹏伟，李建忠，李飞明，
申请(专利权)人：浙江瑞亨电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：