一种粒子分布测量系统、方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种粒子分布测量系统、方法及装置，其中系统包括粒子计数传感器，处理模块和控制模块，处理模块包括跨阻放大器、前置放大电路和A/D转换器，跨阻放大器的输入端与光电探测器的输出端连接，前置放大电路接收从跨阻放大器输出的电压脉冲信号，A/D转换器的输入端与前置放大电路连接，用于将电压脉冲信号转换为数字信号，控制模块包括控制器和存储器，控制器的输入端与A/D转换器的输出端连接，存储器的输入端与控制器的输出端连接。本发明专利技术能够获取洁净空间中的粒子分布情况，还可以对于符合正态分布的粒子数据进行预判以及验证。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种粒子分布测量系统、方法及装置，属于光学。

技术介绍

1、gb/t16292－2010标准认为：洁净环境中的粒子是均匀分布，并呈正态分布，而iso14644-1:2015标准认为粒子是不均匀分布。均匀分布理论认为，在洁净室环境处于通风稳定，发尘量是常数，且大气层浓度也是常数的状态下，忽略室内外灰尘的密度和分散度的变化对过滤器效率的影响，忽略灰尘在管路系统和室内的沉降作用等，则洁净室内含尘浓度是均匀分布的，因此其在洁净区域内多点采样获取洁净空间的计数浓度。不均匀分布理论认为，设发尘量是均匀的、稳定的，但是尘粒分布不均匀，即室内区域的浓度差，例如存在主流区、涡流区等，因此其将洁净空间划分为多给网格，分别获取各网格区域的数据。

2、而在实际生产过程中，需要有效获取洁净空间的粒子数据及其分布情况，也需要获取大量粒径标准对应的粒子计数数据。目前粒子计数器，通常采用粒子-光-电信号的转换，获取粒子对应的电压脉冲信号，并通过比较器运放电路，获取预设粒径标准的粒子计数数据。由于同时可获得的粒径标准计数数据较少，从而难以实现对大量粒径标准的计数数本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种粒子分布测量系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种粒子分布测量系统，其特征在于，所述控制器包括第一控制单元，所述第一控制单元的输入端与所述A/D转换器的输出端连接，所述第一控制单元按照预设粒径幅度差划分出各个粒径范围，并将各个所述的粒径范围对应的数字信号范围进行分类，且一个分类对应一个分类号。

3.根据权利要求2所述的一种粒子分布测量系统，其特征在于，所述存储器的输入端与所述第一控制单元的输出端连接，所述存储器包括多个存储单元，所述存储单元与所述第一控制单元中的分类数量一一对应；每个所述存储单元均包括一个计数器，所述计数器与所述分类一一对应...

【技术特征摘要】

1.一种粒子分布测量系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种粒子分布测量系统，其特征在于，所述控制器包括第一控制单元，所述第一控制单元的输入端与所述a/d转换器的输出端连接，所述第一控制单元按照预设粒径幅度差划分出各个粒径范围，并将各个所述的粒径范围对应的数字信号范围进行分类，且一个分类对应一个分类号。

3.根据权利要求2所述的一种粒子分布测量系统，其特征在于，所述存储器的输入端与所述第一控制单元的输出端连接，所述存储器包括多个存储单元，所述存储单元与所述第一控制单元中的分类数量一一对应；每个所述存储单元均包括一个计数器，所述计数器与所述分类一一对应，用于对其相对应的分类号的数字信号的数量进行计数。

4.根据权利要求3所述的一种粒子分布测量系统，其特征在于，所述控制器包括第二控制单元，所述第二控制单元的输入端与所述存储器的输出端连...

【专利技术属性】
技术研发人员：王少永，蒲建毕，白海楠，马克财，叶志，惠旅锋，
申请(专利权)人：苏州苏信环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：