【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多线切割机,具体为一种多线切割机的喷淋机构。
技术介绍
1、多线切割是一种常用的半导体材料切割方法,其是通过高速往复运动的金刚线网,携带着一定浓度的切割液,将晶棒原料切割至所需厚度衬底,在金刚线高速往复运动的过程中,金刚线与晶棒磨削会产生大量热量及碎屑粉末。
2、为了降低钢线的温度一般均设置有钢线冷却液喷淋装置,可起到将降温及排屑的作用,现有的冷却液喷淋装置大多都采用喷头,但其还存在冷却不均的问题,由于喷头的位置固定,因此使得导线辊上的钢线网中每条钢线接收到的冷却液不均匀,容易造成钢线各个部位的温度不均,从而降低钢线的使用寿命,因此,提出了一种多线切割机的喷淋机构解决上述问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本技术提供了一种多线切割机的喷淋机构,具备冷却均匀等优点,解决了冷却不均的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种多线切割机的喷淋机构,包括工作台,所述工作台的顶部固定有加工仓,所述加工仓的内部设有喷淋组件;
3、所述喷淋组件包括与工作台内腔放置的水箱,所述水箱的内部固定有两个过滤网,所述水箱的左右两端均固定有抽水管,所述水箱的左右两端均固定有水泵,所述水泵的输出端固定有导管,所述喷淋组件还包括与加工仓内腔后壁固定的两个支撑板,两个所述支撑板相对的一侧均固定有斜板,两个所述支撑板内侧相背的一侧均固定有导流管,两个所述导流管相对的一侧均固定有多个喷头,所述斜板的内部通过轴承转动连接有转杆,所述斜板内腔的后壁固定
4、进一步,所述水箱呈顶部缺少的矩形,所述工作台的顶部与加工仓的底部均开设有多个滴水孔。
5、进一步,所述工作台的左右两端均开设有通孔,所述导管贯穿通孔至工作台的外部且与其活动连接。
6、进一步,所述加工仓的左右两端均开设有连通孔,所述导管贯穿连通孔至加工仓的外部且与其活动连接。
7、进一步,两个所述支撑板呈上端缺少且相对的一侧缺失状,两个所述支撑板相背的一侧均开设有圆孔,所述导管贯穿圆孔至支撑板的内部且与其固定。
8、进一步,所述斜板的底部开设有滑动槽,所述布水板贯穿滑动槽至斜板的内部且与其活动连接。
9、进一步,所述布水板的正面开设有固定孔,所述转杆贯穿至固定孔的外部且与其固定。
10、与现有技术相比,本申请的技术方案具备以下有益效果:
11、该多线切割机的喷淋机构,通过设置有喷淋组件,使溶液均匀的喷洒在切割线上,使得所有切割线均能接收到冷却液,从而能够保证切割线的冷却效果,并可调节布水板的倾斜角度,从而调节水帘的落入角度,溶液能够循环使用。
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1.一种多线切割机的喷淋机构,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的顶部固定有加工仓(2),所述加工仓(2)的内部设有喷淋组件(3);
2.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所述水箱(301)呈顶部缺少的矩形,所述工作台(1)的顶部与加工仓(2)的底部均开设有多个滴水孔。
3.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所述工作台(1)的左右两端均开设有通孔,所述导管(305)贯穿通孔至工作台(1)的外部且与其活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所述加工仓(2)的左右两端均开设有连通孔,所述导管(305)贯穿连通孔至加工仓(2)的外部且与其活动连接。
5.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:两个所述支撑板(306)呈上端缺少且相对的一侧缺失状,两个所述支撑板(306)相背的一侧均开设有圆孔,所述导管(305)贯穿圆孔至支撑板(306)的内部且与其固定。
6.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:
7.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所述布水板(313)的正面开设有固定孔,所述转杆(310)贯穿至固定孔的外部且与其固定。
...【技术特征摘要】
1.一种多线切割机的喷淋机构,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的顶部固定有加工仓(2),所述加工仓(2)的内部设有喷淋组件(3);
2.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所述水箱(301)呈顶部缺少的矩形,所述工作台(1)的顶部与加工仓(2)的底部均开设有多个滴水孔。
3.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所述工作台(1)的左右两端均开设有通孔,所述导管(305)贯穿通孔至工作台(1)的外部且与其活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所述加工仓(2)的左右两端均开设有连通孔,所述导管(305)...
【专利技术属性】
技术研发人员:田会俭,张国兴,章明远,章彦军,张国明,
申请(专利权)人:唐山诚凯科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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