【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多线切割机,具体为一种多线切割机的喷淋机构。
技术介绍
1、多线切割是一种常用的半导体材料切割方法,其是通过高速往复运动的金刚线网,携带着一定浓度的切割液,将晶棒原料切割至所需厚度衬底,在金刚线高速往复运动的过程中,金刚线与晶棒磨削会产生大量热量及碎屑粉末。
2、为了降低钢线的温度一般均设置有钢线冷却液喷淋装置,可起到将降温及排屑的作用,现有的冷却液喷淋装置大多都采用喷头,但其还存在冷却不均的问题,由于喷头的位置固定,因此使得导线辊上的钢线网中每条钢线接收到的冷却液不均匀,容易造成钢线各个部位的温度不均,从而降低钢线的使用寿命,因此,提出了一种多线切割机的喷淋机构解决上述问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本技术提供了一种多线切割机的喷淋机构,具备冷却均匀等优点,解决了冷却不均的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种多线切割机的喷淋机构,包括工作台,所述工作台的顶部固定有加工仓,所述加工仓的内部设有喷淋组件;
3、所
...【技术保护点】
1.一种多线切割机的喷淋机构,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的顶部固定有加工仓(2),所述加工仓(2)的内部设有喷淋组件(3);
2.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所述水箱(301)呈顶部缺少的矩形,所述工作台(1)的顶部与加工仓(2)的底部均开设有多个滴水孔。
3.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所述工作台(1)的左右两端均开设有通孔,所述导管(305)贯穿通孔至工作台(1)的外部且与其活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所
...【技术特征摘要】
1.一种多线切割机的喷淋机构,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的顶部固定有加工仓(2),所述加工仓(2)的内部设有喷淋组件(3);
2.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所述水箱(301)呈顶部缺少的矩形,所述工作台(1)的顶部与加工仓(2)的底部均开设有多个滴水孔。
3.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所述工作台(1)的左右两端均开设有通孔,所述导管(305)贯穿通孔至工作台(1)的外部且与其活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种多线切割机的喷淋机构,其特征在于:所述加工仓(2)的左右两端均开设有连通孔,所述导管(305)...
【专利技术属性】
技术研发人员:田会俭,张国兴,章明远,章彦军,张国明,
申请(专利权)人:唐山诚凯科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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