一种具有CUSP磁场的U形MCZ超导磁体制造技术

本技术涉及半导体晶体技术领域，具体地说是一种具有CUSP磁场的U形MCZ超导磁体。一种具有CUSP磁场的U形MCZ超导磁体，其特征在于：4K结构为U型结构，位于4K结构的内壁左右两侧分别连接骨架，骨架上缠绕超导体线圈；所述的4K结构的外部包裹50K结构，50K结构的外部包裹300K结构，所述的300K结构为真空腔体结构，位于300K结构的顶部连接制冷部件，所述的制冷部件包含若干制冷机；所述的4K结构通过4K拉杆悬挂于300K结构中，50K结构通过50K拉杆悬挂于300K结构中。同现有技术相比，这种U形磁体不仅能产生所需CUSP磁场，即对顶放置的两个产生反向磁场的螺线管之间的磁场，还特别适合于现有旧设备升级改造，大大提高现有设备的性能，延长其生命周期。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体晶体，具体地说是一种具有cusp磁场的u形mcz超导磁体。

技术介绍

1、随着半导体、光伏等行业对单晶硅需求的增长，单晶硅市场规模迅速扩大。通过磁控直拉法（magnetic czochralski，简称mcz）改善晶体的组分，降低单晶硅中的杂质含量和分布，提高单晶硅的质量的方式获得了广泛关注，成为目前最流行的工艺流程。

2、随着超导技术的发展，超导磁体体积小、重量轻、磁场稳定的特点尤为突出，现有磁拉单晶磁体都使用超导磁体。

3、磁拉单晶技术的核心是磁体和单晶炉配合使用实现高效的高纯度晶体生产。在这一方面，杭州慧翔电液技术开发有限公司、西安聚能超导磁体科技有限公司的专利聚焦于通过不同的线圈设计产生不同的磁场，磁体基本都是筒形结构，这种磁体方便于进行磁场设计和磁体设计，这种外形应用于新单晶炉设计中没有问题，但当前市场上有大批的成熟的旧单晶炉，这些单晶炉及周边设施已经固定，适合目前的操作流程，这种筒形的磁体结构很难适合旧单晶炉升级改造。

技术实现思路

1、本技术为克服现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有CUSP磁场的U形MCZ超导磁体，其特征在于：所述的U形MCZ超导磁体（1）包括骨架、超导体线圈、4K结构、50K结构、300K结构、制冷部件，

2.根据权利要求1所述的一种具有CUSP磁场的U形MCZ超导磁体，其特征在于：两侧的超导磁体线圈（101）的电流相反，并且两侧的超导磁体线圈（101）之间形成相反的CUSP磁场。

3.根据权利要求1或2所述的一种具有CUSP磁场的U形MCZ超导磁体，其特征在于：两侧的超导磁体线圈（101）分别通过导冷链路（109）连接导冷板（108）。

4.根据权利要求1所述的一种具有CUSP磁场的U形MCZ超导...

【技术特征摘要】

1.一种具有cusp磁场的u形mcz超导磁体，其特征在于：所述的u形mcz超导磁体（1）包括骨架、超导体线圈、4k结构、50k结构、300k结构、制冷部件，

2.根据权利要求1所述的一种具有cusp磁场的u形mcz超导磁体，其特征在于：两侧的超导磁体线圈（101）的电流相反，并且两侧的超导磁体线圈（101）之间形成相反的cusp磁场。

3.根据权利要求1或2所述的一种具有cusp磁场的u形mcz超导磁体，其特征在于：两侧的超导磁体线圈（101）分别通过导冷链路（109）连接导冷板（108）。

4.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏，虞维兴，王琪，赵华炜，刘进阳，余劲廷，何钧，
申请(专利权)人：上海辰昊超导科技有限公司，
类型：新型
国别省市：