【技术实现步骤摘要】
本技术涉及扩散器，更具体为一种晶圆载具压力均衡型扩散器。
技术介绍
1、晶圆载具foup的发展历程分为普通款foup到阻水款foup(阻水材料)，再到阻水款foup with扩散器本体(带有惰性气体喷射管的foup)。带有惰性气体喷射管的foup，可以实现openpurge状态功能的。
2、工作过程中，惰性气体从双进气口(单向阀)中进入箱体内，由扩散器本体实现均匀释放。
3、在正常过程单向阀在通过压力差时会单向气体流通，但仍有少量因素会使扩散器本体左右进气量的差异：
4、1.进气purge站与口进气1&口进气2配合公差的差异性；
5、2.进气口1与进气口2本身进气量源头的差异；
6、3.进气口1与进气2单向阀组件(零件6/7/8/9)的装配公差的差异；
7、4.装配人对进气口1和进气口2安装手法的不同等。
8、当因素同时叠加，将会影响扩散器本体功能的平衡性。在不同的进气口分别进气时，在各种变量因素叠加下，大量数据表明，在左右进气量差异在一定程度下...
【技术保护点】
1.一种晶圆载具压力均衡型扩散器，其特征在于：包括：晶圆盒(1)，所述晶圆盒(1)的内部设置有扩散器本体(2)且扩散器本体(2)包括两组通气管(14)，所述通气管(14)的下部设置有三通接头(4)且三通接头(4)的其中一端设置有中转连接管(3)，所述三通接头(4)的另一端设置有转换阀(6)且转换阀(6)的下部设置有阀盖(7)，所述阀盖(7)的下部设置有输送盘(8)且输送盘(8)的内部设置有连接头(9)，所述连接头(9)的下部设置有盖体(10)且盖体(10)与连接头(9)之间螺纹连接，所述两组通气管(14)的下部分别形成第一进气口(12)和第二进气口(13)。
<...【技术特征摘要】
1.一种晶圆载具压力均衡型扩散器，其特征在于：包括：晶圆盒(1)，所述晶圆盒(1)的内部设置有扩散器本体(2)且扩散器本体(2)包括两组通气管(14)，所述通气管(14)的下部设置有三通接头(4)且三通接头(4)的其中一端设置有中转连接管(3)，所述三通接头(4)的另一端设置有转换阀(6)且转换阀(6)的下部设置有阀盖(7)，所述阀盖(7)的下部设置有输送盘(8)且输送盘(8)的内部设置有连接头(9)，所述连接头(9)的下部设置有盖体(10)且盖体(10)与连接头(9)之间螺纹连接，所述两组通气...
【专利技术属性】
技术研发人员：李闯，王业浩，
申请(专利权)人：上海赛瑾精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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