【技术实现步骤摘要】
本技术涉及化合物沉积设备，具体为一种具有沉积结构的石墨盘。
技术介绍
1、mocvd是在气相外延生长的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。mocvd是以ⅲ族、ⅱ族元素的有机化合物和v、ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种ⅲ-v主族、ⅱ-ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料，通常使用石墨盘作为反应过程中的衬底，反应后在石墨盘上表面形成单层结晶。
2、根据公示的一种模块化设计的mocvd用石墨盘(公开号：cn 219260273 u)，上述申请中提出了一种新型的适用于mocvd的石墨盘，通过设置有可拆卸的多个石墨基座拼接在一起，使用时，表面没有沉积物的基座无需放入烤盘炉中烘烤清洗，而表面有沉积物的石墨盘表面可拆分为多个石墨盘模块，分别竖直放入烤盘炉中，减少竖直放入烤盘炉内的待清洁物体的重量，缓解石墨盘模块受压情况的压力，减少石墨盘受损情况的发生几率，从而减少石墨盘模块更换的次数，进而降低外延工艺成本。
3、但是上述设备在实际使用过程中，在石墨层表面...
【技术保护点】
1.一种具有沉积结构的石墨盘，包括底座(4)，所述底座(4)上表面轴心处固定安装有支撑杆(5)，所述支撑杆(5)上端圆周外表面固定安装有移动板(6)，其特征在于：所述移动板(6)上表面固定设置有推杆(3)，所述支撑杆(5)中段内部活动连接有连杆(9)，所述连杆(9)圆周外表面固定连接有凸轮(8)，所述连杆(9)末端外表面固定连接有电机(10)，所述连杆(9)上端圆周外表面活动连接有加热层(2)，所述加热层(2)内壁固定设置有加热管(13)，所述加热层(2)下表面固定连接有加热电源(7)，所述加热层(2)上表面固定连接有石墨盘(1)，所述石墨盘(1)内部设置有石墨芯(1
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【技术特征摘要】
1.一种具有沉积结构的石墨盘，包括底座(4)，所述底座(4)上表面轴心处固定安装有支撑杆(5)，所述支撑杆(5)上端圆周外表面固定安装有移动板(6)，其特征在于：所述移动板(6)上表面固定设置有推杆(3)，所述支撑杆(5)中段内部活动连接有连杆(9)，所述连杆(9)圆周外表面固定连接有凸轮(8)，所述连杆(9)末端外表面固定连接有电机(10)，所述连杆(9)上端圆周外表面活动连接有加热层(2)，所述加热层(2)内壁固定设置有加热管(13)，所述加热层(2)下表面固定连接有加热电源(7)，所述加热层(2)上表面固定连接有石墨盘(1)，所述石墨盘(1)内部设置有石墨芯(12)。
2.根据权利要求1所述的一种具有沉积结构的石墨盘，其特征在于：所述石墨芯(12)数量设置为若干...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡耀武，李超，季辉，
申请(专利权)人：湘能华磊光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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