激光微腔测温系统和方法技术方案

本发明专利技术提出一种激光微腔测温系统和方法，其中，激光微腔测温系统包括激光发射器、微腔以及荧光光谱仪；微腔设于激光发射器的发射端，微腔内掺杂有上转换材料，上转换材料用于接收激光发射器发射的激光并发出光信号；荧光光谱仪设于微腔的发射端，荧光光谱仪用于接收光信号并通过光信号计算微腔的温度。微腔温度过高，会导致共振波长发生偏移，因此需要监测微腔温度。上转换材料经过激光发射器发出的激光激发后产生能量辐射并穿过微腔形成新的激光束。新的激光束通过荧光光谱仪的分析获得光谱图，依据光谱图中选定的不同热耦合能级对应发射态的荧光强度比来实现温度的非接触式测量，从而实现对微腔温度的精准测量，提高了微腔性能的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光电传感器，尤其涉及一种激光微腔测温系统和方法。

技术介绍

1、集成光路包括光波的发射、传输、调制、解调、上载、下载、接收、存储、显示等一系列的过程。近年来，随着微电子学的薄膜工艺提高,研究者们将微波理论和激光技术相结合，采用微纳加工技术在各种均匀的光学材料中制备各种波长尺度的结构来控制光信号的传播或产生新的物理效应，从而创造出新型光子学器件。微腔型光电子器件正式基于此背景提出的。这类器件具有尺寸小、易于集成、功耗低以及品质因子高等优点，在信号的发射、处理和传感等方面表现出很大的前景，例如高性能光源，光存储器、光开关、密集波分复用系统(dwdm)的上下载滤波器以及生化传感器等。

2、激光微腔是一种微米级的激光腔体，在光或者电激发下使光在微腔内震荡增强并产生激光出射。由于其体积微小，光子密度较高，容易温度过高，导致微腔共振波长产生偏移，因此需要对其进行实时温度检测。传统的温度检测方法通常需要对被检测物进行接触，但这有可能会对微腔内激光的振荡产生干扰。

技术实现思路

1、本专利技术所要解本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光微腔测温系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的激光微腔测温系统，其特征在于，所述上转换材料为NaYF4:Yb3+/Er3+、YF3:Tm/Yb、NaGdF4:Nd/Yb、Ca2Gd8Si6O26:Eu中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的激光微腔测温系统，其特征在于，所述微腔与所述荧光光谱仪之间设有用于传输所述光信号的光纤。

4.根据权利要求1所述的激光微腔测温系统，其特征在于，所述激光发射器的激光路径上设有透镜，所述透镜用于聚焦所述激光发射器发出的激光并传输至所述微腔上。

5.根据权利要求1所述的激光微腔测温系...

【技术特征摘要】

1.一种激光微腔测温系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的激光微腔测温系统，其特征在于，所述上转换材料为nayf4:yb3+/er3+、yf3:tm/yb、nagdf4:nd/yb、ca2gd8si6o26:eu中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的激光微腔测温系统，其特征在于，所述微腔与所述荧光光谱仪之间设有用于传输所述光信号的光纤。

4.根据权利要求1所述的激光微腔测温系统，其特征在于，所述激光发射器的激光路径上设有透镜，所述透镜用于聚焦所述激光发射器发出的激光并传输至所述微腔上。

5.根据权利要求1所述的激光微腔测温系统，其特征在于，所述激光微腔测温系统包括与所述荧光光谱仪信号连接的计算设备，所述计算设备用于通过所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文飞，姚昕，林臻博，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：发明
国别省市：