【技术实现步骤摘要】
本申请的各种示例关于接触光子集成电路(photonic integrated circuit，pic)的技术，例如测试pic的技术。
技术介绍
1、以类似电子集成电路的情况的方式，在pic中，将多个被动和/或主动光学和光电子(optoelectronic)部件组装在共用基板(如半导体晶片)上以形成复杂电路。在这种情况下，举例来说，例如滤波器或耦合器等传统光学部件可置换为更紧凑的集成光学部件。经由pic表面附近的光学波导将pic的各种部件彼此连接。
2、举例来说，近年来，随着因特网上的数据流量大量成长，由于需求具有足够带宽且有效运行的信号处理电路，因此此pic变得更加令人关注。除了电信和数据传输应用以外，其他应用(如传感器技术)及生命科学领域的应用也对pic感兴趣。
3、产生此pic的工艺是类似产生惯用电子集成电路或微机电系统(microelectromechanical system，mems)或微光机电系统(microoptoelectromechanicalsystem，moems)的工艺。然而，相较于这些惯...
【技术保护点】
1.一种系统(90)，包含：
2.如权利要求1所述的系统(90)，
3.如权利要求2所述的系统(90)，
4.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，
5.如权利要求1至3中任一项所述的系统(90)，其中，该扫描装置(803)更包含：
6.如权利要求1至3中任一项所述的系统(90)，其中，该电路板(300)更包含微光学元件，该微光学元件包含：
7.如权利要求6所述的系统(90)，
8.如权利要求7所述的系统(90)，
9.如权利要求1至3中任一项所述的系统(90)，>
10.如权利...
【技术特征摘要】
1.一种系统(90)，包含：
2.如权利要求1所述的系统(90)，
3.如权利要求2所述的系统(90)，
4.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，
5.如权利要求1至3中任一项所述的系统(90)，其中，该扫描装置(803)更包含：
6.如权利要求1至3中任一项所述的系统(90)，其中，该电路板(300)更包含微光学元件，该微光学元件包含：
7.如权利要求6所述的系统(90)，
8.如权利要求7所述的系统(90)，
9.如权利要求1至3中任一项所述的系统(90)，
10.如权利要求1至3中任一项所述的系统(90)，
11.如权利要求1至3中任一项所述的系统(90)，
12.如权利要求1至3中任一项所述的系统(90)，
13...
【专利技术属性】
技术研发人员：P·许布纳，S·里克特，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。