【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种涂覆装置及使用上述涂覆装置的涂覆方法，所述涂覆装置使供给到涂覆用喷嘴中的涂覆液收容部内的涂覆液经过涂覆用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口排出到被涂覆体，并且使所述涂覆用喷嘴和被涂覆体在将涂覆液涂覆于被涂覆体的涂覆方向上相对移动，并将涂覆液涂覆于被涂覆体的表面。尤其，在所述涂覆装置中在如下点上具有特征，即能简单地进行一边使将涂覆液涂覆于被涂覆体的涂覆宽度、涂覆位置变化，一边将涂覆液以变成各种各样的图案的方式涂覆于被涂覆体的表面的操作。
技术介绍
1、以往，在半导体设备、液晶面板等中，存在在玻璃、薄膜上涂覆药液、涂料等的工序。而且，作为涂覆药液、涂料等的涂覆图案，以往，一般涂覆成四边形、圆形，但近年来随着商品多样化而需要涂覆成各种各样的形状。
2、在此，以往，如专利文献1、2所示使用一种涂覆装置，其使用包括狭缝状排出口的涂覆用喷嘴，使收容在涂覆用喷嘴中的涂覆液收容部内的涂覆液从涂覆用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口排出到被涂覆体，并且使所述涂覆用喷嘴和被涂覆体在将涂覆液涂覆于被涂覆体的涂覆方向上相对移动，并将涂覆液涂覆...
【技术保护点】
1.一种涂覆装置，使供给至涂覆用喷嘴中的涂覆液收容部内的涂覆液经过涂覆用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口排出到被涂覆体，并且使所述涂覆用喷嘴和被涂覆体在将涂覆液涂覆于被涂覆体的涂覆方向上相对移动，并将涂覆液涂覆于被涂覆体的表面，
2.如权利要求1所述的涂覆装置，其特征在于，
3.如权利要求1所述的涂覆装置，其特征在于，
4.一种涂覆方法，其特征在于，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种涂覆装置，使供给至涂覆用喷嘴中的涂覆液收容部内的涂覆液经过涂覆用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口排出到被涂覆体，并且使所述涂覆用喷嘴和被涂覆体在将涂覆液涂覆于被涂覆体的涂覆方向上相对移动，...
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