【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及加工机及被加工物的制造方法。
技术介绍
1、通过工具对工件进行加工(例如切削)的加工机以被公知(例如下述专利文献1及2)。在专利文献1及2，公开有一种切削装置(加工机)，其使用在外周具有切刃的刀刃(工具)，将晶圆(工件)分割。这种加工机，例如通过向相对于规定的基准位置所设定的相对位置使刀刃移动，达到期望的切入深度等。
2、成为所述基准位置的位置的信息，通过例如使刀刃接近工件或保持该工件的工作台，检测当检测到两者接触时的刀刃的位置而取得。在专利文献1及2的现有技术的内容中，公开作为刀刃及工作台采用具有导电性的部件，利用两者接触时的通电，检测两者的接触的技术。
3、当刀刃与工作台接触时，则有其中任一方发生劣化等问题产生的可能性。因此，专利文献1提出对刀刃及工作台施加高频电压，依据两者之间的静电容量的改变检测两者的接近。专利文献2提出通过使用模拟刀刃的近似刀刃取代刀刃而取得成为基准位置的位置的信息的技术。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本特开昭61-071967号公报。
7、专利文献2：日本特开2015-103693号公报。
技术实现思路
1、专利技术所要解决的技术问题
2、在专利文献1的技术中，作为刀刃，必须采用具有导电性的部件。即，刀刃的选择的自由度降低。在专利文献2的技术中，除了刀刃，需要近似刀刃。并且，可能产生因刀刃与近似刀刃的差异所引起的误差。因此，期望有可完美
3、用于解决技术问题的技术方案
4、本专利技术的一实施方式的加工机，具有：主轴，其保持工具及工件的一方；保持部，其保持所述工具及所述工件中的另一方；驱动部，其使所述主轴及所述保持部中的一方即可动部向规定的第一方向移动；位置传感器，其检测所述可动部在所述第一方向的位置；旋转传感器，其检测所述主轴的旋转；及控制部，其当在所述主轴旋转的状态下通过所述工具对所述工件进行加工时，以在所述第一方向上，向对规定的基准位置所设定的相对位置使所述可动部移动的方式，依据所述位置传感器的检测值，控制所述驱动部，当将所述工件或相对于所述工件不动的部件作为基准部件时，所述控制部通过所述旋转传感器检测所述主轴的旋转，且在所述可动部向所述第一方向移动而使所述工具与所述基准部件在所述第一方向上接触的状态下，输入了规定的信号时，取得所述位置传感器所检测到的位置作为所述基准位置。
5、本专利技术的一实施方式的被加工物的制造方法，使用如权利要求1至16中任一项所述的加工机，通过所述工具对所述工件进行加工而获得被加工物。
6、本专利技术的一实施方式的被加工物的制造方法，使用具有：主轴，其保持工具及工件的一方；保持部，其保持所述工具及所述工件中的另一方；驱动部，其使所述主轴及所述保持部中的其中任一方即可动部向规定的第一方向移动；位置传感器，其检测所述可动部在所述第一方向的位置；检测所述主轴的旋转的旋转传感器的加工机，通过所述工具对所述工件进行加工而获得被加工物的被加工物的制造方法，其具有：当将所述工件或相对于所述工件不动的部件作为基准部件时，在所述主轴旋转的状态下，使所述可动部向所述第一方向移动而使所述工具与所述基准部件接触的步骤；依据通过所述旋转传感器的检测结果，检测因所述工具与所述基准部件的接触所引起的所述主轴的旋转的减速的步骤；及通过所述位置传感器取得当检测到所述减速时的所述可动部在所述第一方向处的位置的步骤。
7、专利技术的效果
8、依据上述结构或顺序，可完美地取得使工件与工具相对移动时的基准位置的信息。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种加工机，具有：
2.根据权利要求1所述的加工机，其中，
3.根据权利要求1所述的加工机，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的加工机，其中，
5.根据权利要求4所述的加工机，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的加工机，其中，
7.根据权利要求6所述的加工机，其中，
8.根据权利要求1至5中任一项所述的加工机，其中，
9.根据权利要求6或者7所述的加工机，其中，
10.根据权利要求6至8任一项所述的加工机，其中，
11.根据权利要求1至5中任一项所述的加工机，其中，
12.根据权利要求1至11中任一项所述的加工机，其中，
13.根据权利要求1至11中任一项所述的加工机，其中，
14.根据权利要求1至13中任一项所述的加工机，其中，
15.根据权利要求14所述的加工机，其中，
16.根据权利要求14或者15所述的加工机，其中，
17.一种被加工物的制造方法，使用如权利要求1
18.一种被加工物的制造方法，使用具有：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种加工机，具有：
2.根据权利要求1所述的加工机，其中，
3.根据权利要求1所述的加工机，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的加工机，其中，
5.根据权利要求4所述的加工机，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的加工机，其中，
7.根据权利要求6所述的加工机，其中，
8.根据权利要求1至5中任一项所述的加工机，其中，
9.根据权利要求6或者7所述的加工机，其中，
10.根据权利要求6至8任一项所述的加工机，其中，
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