柔性压阻式压力传感器及其制备方法技术

技术编号:41750470 阅读:50 留言:0更新日期:2024-06-21 21:35
本发明专利技术提供一种柔性压阻式压力传感器及其制备方法,其中的柔性压阻式压力传感器包括至少一层镂空结构;所述镂空结构包括框架型的介质层弹性基底以及设置在所述介质层弹性基底内且呈阵列排布的互锁结构;其中,所述互锁结构包括设置在所述介质层弹性基底的上侧的上球顶部,以及设置在所述介质层弹性基底的下侧的下球顶部;所述上球顶部和所述下球顶部相互限位形成所述互锁结构;所述介质层弹性基底的上表面和下表面形成弹性电极,用于检测作用在所述镂空结构上的压力。利用上述发明专利技术能够在提高传感器灵敏度的同时,保证检测量程,提高传感器的适用范围和检测效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及柔性电子,更为具体地,涉及一种柔性压阻式压力传感器及其制备方法


技术介绍

1、随着互联网及可穿戴技术的发展,对人工智能、人造设备的研发也再不断进步,特别是柔性电子领域以及人机互动方向。目前,越来越多的设备允许用户通过接触按压等方式,作为输入信号,来满足日益丰富的生活生产需求,该方式的工作原理可以简单抽象为人机装置在得到指令后,进行数据的处理并最终输出,其中类似皮肤般去辨识压力或触觉的电子皮肤已经应运而生了。此外,鉴于柔性的传感器件,例如柔性压力传感器,相比传统的刚性传感器件具有更为柔软,能够与设备更好的贴合,更具有生物兼容性的特点,已经受到人们的广泛关注。

2、目前,在压力传感器的应用领域内,通常会采用设计不同的微结构来提高传感器的灵敏度,但是,在灵敏度提高的同时,会导致检测量程的减小,换言之,灵敏度和检测量程这两个参数指标是一种此消彼长的关系,一味地提高器件灵敏度会使得传感器的检测量程变得很小,这就导致了传感器的应用场景和实际效果受到较大限制。

3、因此,目前亟需一种柔性压力传感器,能够在高灵敏度的同时,有效的保证本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种柔性压阻式压力传感器,其特征在于,包括至少一层镂空结构;

2.根据权利要求1所述的柔性压阻式压力传感器,其特征在于,还包括设置在最外层的镂空结构上的上导电布和下导电布;其中,

3.根据权利要求1所述的柔性压阻式压力传感器,其特征在于,

4.根据权利要求1所述的柔性压阻式压力传感器,其特征在于,

5.一种柔性压阻式压力传感器制备方法,其特征在于,用于制备如权利要求1-4中任一项所述的柔性压阻式压力传感器;所述方法包括:

6.根据权利要求5所述的柔性压阻式压力传感器制备方法,其特征在于,

7.根据权利要求5所述的...

【技术特征摘要】

1.一种柔性压阻式压力传感器,其特征在于,包括至少一层镂空结构;

2.根据权利要求1所述的柔性压阻式压力传感器,其特征在于,还包括设置在最外层的镂空结构上的上导电布和下导电布;其中,

3.根据权利要求1所述的柔性压阻式压力传感器,其特征在于,

4.根据权利要求1所述的柔性压阻式压力传感器,其特征在于,

5.一种柔性压阻式压力传感器制备方法,其特征在于,用于制备如权利要求1-4中任一项所述的柔性压阻式压力传感器;所述方法包括:

6.根据权利要求5所述的柔性压阻式压力传感器制备方法,其特征在于,

【专利技术属性】
技术研发人员:尚杰王逸韬刘家麟胡思齐项紫银马腾飞汪玲毛健李润伟
申请(专利权)人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
类型:发明
国别省市:

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