【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体专用器件，具体是一种超低频准零刚度六自由度隔振平台。
技术介绍
1、目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
2、为了解决上述问题，近年来研究人员基于非线性动力学理论发现了一些新颖的隔振方法—准零刚度隔振器。该类隔振器在系统刚度方面具有高静低动特性，即当系统承受静载时，隔振器具有比较高的系统刚度，可以提供足够的支撑力；当系统承受动载时，隔振器具有较低的系统刚度，增大隔振频宽，实现低频、超低频隔振。但目前大部分基于准零刚度理论的非线性隔振器只能实现特定被控对象的减振，无法满足对不同对象的隔振，且现有的准零刚度隔振器低刚度位移区间较窄，随位移增大刚度明显增大，非线性明显增强，隔振器起始隔振频率升高，隔振频带变窄，低频隔振性能下降，从而影响准零刚度隔振器的适用范围。另外，现有的准零刚度隔振方法大多关注单向隔振，关于多自由度的准零刚度隔振的研究还比较少见。
<...【技术保护点】
1.一种超低频准零刚度六自由度隔振平台，包括顶板、底座、框体和支撑块，其特征在于，所述底座顶部四个角处分别安装有附加气柱，所述附加气柱顶部通过气孔连接有空气弹簧，所述空气弹簧顶部与框体顶角底部连接，所述底座顶部中间安装有气室，所述气室顶部连接有金属波纹管，所述金属波纹管顶部与支撑块底部中间连接，所述支撑块四周侧面底部中间部位分别安装有两个上铰链，所述上铰链连接有减振腿，所述减振腿底部与同侧的附加气柱内侧通过下铰链连接，所述减振腿包括外壳和推杆，所述推杆垂直穿过外壳顶部，所述外壳内侧下部焊接有支撑板A，所述推杆下部安装有支撑板B，所述支撑板B顶部与外壳顶部内侧之间、推杆...
【技术特征摘要】
1.一种超低频准零刚度六自由度隔振平台，包括顶板、底座、框体和支撑块，其特征在于，所述底座顶部四个角处分别安装有附加气柱，所述附加气柱顶部通过气孔连接有空气弹簧，所述空气弹簧顶部与框体顶角底部连接，所述底座顶部中间安装有气室，所述气室顶部连接有金属波纹管，所述金属波纹管顶部与支撑块底部中间连接，所述支撑块四周侧面底部中间部位分别安装有两个上铰链，所述上铰链连接有减振腿，所述减振腿底部与同侧的附加气柱内侧通过下铰链连接，所述减振腿包括外壳和推杆，所述推杆垂直穿过外壳顶部，所述外壳内侧下部焊接有支撑板a，所述推杆下部安装有支撑板b，所述支撑板b顶部与外壳顶部内侧之间、推杆外侧套装有金属弹簧a，所述推杆两侧、支撑板a与支撑板b之间分别安装有金属弹簧b，所述推杆底部与外壳底部内侧之间安装有音圈电机，所述支撑块顶部与顶板底部中间连接，所述支撑块四个侧面中间与框体内侧之间分别安装有横向弹簧，所述框体与横向弹簧同一水平面上开设有螺纹孔，所述螺纹孔连接有调节螺栓，所述横向弹簧另一端与调节螺栓顶部连接，所述顶板底部还安装有位置传感器和加速度传感器，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：马跃，李伟，李剑钊，尹波，张厚根，
申请(专利权)人：大连地拓精密科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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