具有垂直腔面发射激光器(VCSEL)集群的发射器组件制造技术

技术编号:41745401 阅读:24 留言:0更新日期:2024-06-21 21:31
在一些实施方式中,发射器组件包括垂直腔表面发射激光器(VCSEL)芯片,该垂直腔表面发射激光器芯片包括底部发射配置的多个VCSEL,并且多个VCSEL中的一些VCSEL可以分组在一集群中。发射器组件可包括载体,且VCSEL芯片可与载体呈倒装芯片配置。发射器组件可以包括电连接到分组在集群中的一些VCSEL的导电柱。

【技术实现步骤摘要】

本公开总体上涉及垂直腔表面发射激光器(vcsel)以及具有vcsel集群的发射器组件。


技术介绍

1、垂直发射激光器件(诸如vcsel)是在垂直于基板表面的方向上(例如,从半导体晶片的表面垂直地)发射光束的激光器。多个垂直发射器件可以布置在具有共用基板的阵列中。


技术实现思路

1、在一些实施方式中,发射器组件包括vcsel芯片,该vcsel芯片包括处于底部发射配置的多个vcsel,并且多个vcsel中的一些vcsel可以分组在一集群中。发射器组件可包括载体,且vcsel芯片可与载体呈倒装芯片配置。发射器组件可以包括电连接到分组在集群中的一些vcsel的导电柱。

2、在一些实施方式中,vcsel芯片包括底部发射配置的多个vcsel,并且多个vcsel中的一些vcsel可以分组在集群中。vcsel芯片可以包括由分组在集群中的一些vcsel共享的电接触部。电接触部可以电连接到一些vcsel,并且电接触部可以被配置为电连接到提供vcsel芯片和载体的电连接的导电柱。

3、在一些实施方式中,一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种发射器组件,其包括:

2.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述载体包括集成电路芯片或基板。

3.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述载体包括表面层和基部层,并且

4.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述导电柱在所述导电柱的端部处具有焊料帽,且

5.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述导电柱在所述导电柱的端部处具有焊料帽,且

6.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述导电柱电连接所述一些VCSEL的所述集群和所述载体。

7.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述导电柱从所述VCSEL芯片延伸...

【技术特征摘要】

1.一种发射器组件,其包括:

2.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述载体包括集成电路芯片或基板。

3.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述载体包括表面层和基部层,并且

4.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述导电柱在所述导电柱的端部处具有焊料帽,且

5.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述导电柱在所述导电柱的端部处具有焊料帽,且

6.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述导电柱电连接所述一些vcsel的所述集群和所述载体。

7.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述导电柱从所述vcsel芯片延伸到所述载体。

8.根据权利要求1所述的发射器组件,其中所述导电柱从所述载体延伸到所述vcsel芯片。

9.根据权利要求1所述的发射器组件,其进一步包括:

10.根据权利要求9所述的发射器组件,其中所述载体包括:

11.一种垂直腔表面发射激光器(vcsel)芯片,包括:

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【专利技术属性】
技术研发人员:W·石J·雷S·R·达斯朱环琳R·斯里尼瓦桑G·巴金Y·李J·U·洛佩兹鲁瓦尔卡巴L·朱Q·于
申请(专利权)人:朗美通经营有限责任公司
类型:发明
国别省市:

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