【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学测量，具体是一种可抑制噪声的激光自混合测量系统及方法。
技术介绍
1、激光自混合测量是一种基于新原理的激光干涉测量方法，在与传统双光束干涉仪具有相同分辨率的同时，还具有高灵敏度、自准直、低成本等优点，能够测量表面粗糙的非配合目标的微弱振动，具有广阔的应用前景。例如，在安全性检测方面，通过判断桥梁、煤矿、汽车、飞机等的微振情况，可以提前发出预警，保护相关人员与设备的安全；在工业加工上，可以通过机床微振检测保证设备的稳定运行，提高加工精度与质量。
2、然而自混合测量系统具有的高灵敏度特性使其极易受到外界环境干扰，即使靶镜静止不动，自混合信号也将因为环境扰动、激光功率波动、光学元件热效应等原因产生波动，产生零漂噪声，导致系统的精度与灵敏度下降。当前抑制自混合装置噪声的主要方法有双探测器法、双光束法、频率复用法、偏振复用法等，但上述方法或光路结构复杂，搭建困难，或需使用双个激光器，成本较高。且上述方法均只能抑制相位波动噪声，对功率波动噪声无明显改善。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种可抑制噪声的激光自混合测量系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的可抑制噪声的激光自混合测量系统，其特征在于，所述正交偏振激光器、所述电光晶体、所述第一偏振分光镜依次间隔设置，其中，被测目标表面位于所述第一偏振分光镜的透射方向上，参考表面位于所述第一偏振分光镜的反射方向上。
3.根据权利要求2所述的可抑制噪声的激光自混合测量系统，其特征在于，所述第一偏振分光镜与所述被测目标之间设有聚焦透镜。
4.根据权利要求2所述的可抑制噪声的激光自混合测量系统，其特征在于，所述激光器与所述电光晶体之间设有分光镜，所述第二偏振分光...
【技术特征摘要】
1.一种可抑制噪声的激光自混合测量系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的可抑制噪声的激光自混合测量系统，其特征在于，所述正交偏振激光器、所述电光晶体、所述第一偏振分光镜依次间隔设置，其中，被测目标表面位于所述第一偏振分光镜的透射方向上，参考表面位于所述第一偏振分光镜的反射方向上。
3.根据权利要求2所述的可抑制噪声的激光自混合测量系统，其特征在于，所述第一偏振分光镜与所述被测目标之间设有聚焦透镜。
4.根据权利要求2所述的可抑制噪声的激光自混合测量系统，...
【专利技术属性】
技术研发人员：周健，王雨宁，王汉睦，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：
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