【技术实现步骤摘要】
(一)本专利技术属于光电信号处理领域，具体涉及的是一种基于可调谐滤波器的激光干涉测量信号处理装置和方法。可用于外差激光干涉测量的光电检测电路的信号采集前置滤波的流程中，用于对光电检测信号的动态滤波。由于可调谐滤波器谐振频率的调节均匀连续且能实时跟踪测量信号频率，可有效衰减失谐频率信号，提高测量信号的信噪比。
技术介绍
0、(二)
技术介绍
1、随着信息技术产业的发展，高端半导体的需求量越来越大。超精密仪器制造、mems微机电系统加工等前沿领域技术发展的需求推进了超精密测量技术的发展。而随着这些
的发展，对外差激光干涉测量信号的信噪比提出了更高的要求。
2、在外差激光干涉测量系统中，噪声是不可避免的。外差激光干涉测量系统的噪声通常来源于多个方向。apd雪崩光电二极管的暗电流噪声、雪崩放大噪声、电子热噪声以及跨阻放大器本身的噪声。这些噪声因素会影响外差激光干涉测量信号的质量，降低系统的信噪比，影响外差激光干涉测量系统的性能。为了减小这些噪声的影响，需要在设计中采取相应的措施，如设计合理的滤波器等，以提高外差激光干...
【技术保护点】
1.一种基于可调谐滤波器的激光干涉测量信号处理装置，其特征是：它由光电转换器1，基于可调谐电容的RLC串联谐振网络2，自动增益控制模块3，双失谐斜率鉴频回路4，包络检波器5，信号补偿器6，后级电路7组成。
2.根据权利要求1所述的一种基于可调谐滤波器的激光干涉测量信号处理装置中所采用的基于可调谐电容的RLC串联谐振网络2，其特征是：由调谐电压控制容量的可调谐电容、电感、电阻构成的RLC串联谐振网络。
3.根据权利要求1所述的一种基于可调谐滤波器的激光干涉测量信号处理装置中所采用的自动增益控制模块3，其特征是：由压控增益运算放大器和均方根检波器构...
【技术特征摘要】
1.一种基于可调谐滤波器的激光干涉测量信号处理装置，其特征是：它由光电转换器1，基于可调谐电容的rlc串联谐振网络2，自动增益控制模块3，双失谐斜率鉴频回路4，包络检波器5，信号补偿器6，后级电路7组成。
2.根据权利要求1所述的一种基于可调谐滤波器的激光干涉测量信号处理装置中所采用的基于可调谐电容的rlc串联谐振网络2，其特征是：由调谐电压控制容量的可调谐电容、电感、电阻构成的rlc串联谐振网络。
3.根据权利要求1所述的一种基于可调谐滤波器的激光干涉测量信号处理装置中所采用的自动增益控制模块3，其特征是：由压控增益运算放大器和均方根检波器构成的自动增益控制模块。
4.根据权利要求1所述的一种基于可调谐滤波器的激光干涉测量信号处理装置中所采用的双失谐斜率鉴频回路4，其特征是：由电容、电感及其外围电路构成，包含分别失谐于双...
【专利技术属性】
技术研发人员：张文涛，刁锡卿，熊显名，杜浩，徐乐，陈德平，高腾，
申请(专利权)人：桂林电子科技大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。