【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于低温低噪声电子学测量领域，涉及一种待测超导器件物性测试装置及测试方法。
技术介绍
1、随着20世纪60年代约瑟夫森效应的发现，开启了基于低温超导约瑟夫结的弱电应用征程。经过半个多世纪的发展，低温超导相关的制冷技术和平面微纳制备技术都得到了快速的发展，已经能够提供几十k到mk温区的稳定低噪声工作环境、大规模约瑟夫森结阵列电路以及超导薄膜芯片。基于超导约瑟夫森结阵列电路和超导薄膜等技术，研究了大规模超导数字电路、超导量子电路和超导探测器等。近些年，基于约瑟夫森结的超导量子计算与模拟电路的研究层出不穷，尤其是在精密探测/传感、天文观测、基础应用研究和新型物理机制探索等方面展现出独特的优势。
2、以大规模超导技术为导向，麻省理工大学林肯实验室、hypres(豪埔里圣)、iphtjena(耶拿光子技术研究所)和nec(日本电气)等致力于研发多层超导工艺，该工艺是目前主流的超导电路方案之一。超导工艺的几何参数、电学特性参数、稳定性和均一性等，直接决定了超导电路的规模、信息传输的损耗、量子计算的深度和门电路操作的效率等。因此...
【技术保护点】
1.一种待测超导器件物性测试装置，其特征在于，所述待测超导器件物性测试装置包括：上位机、源表、开关切换模块和N通道低通滤波阵列；其中N为大于1的自然数；
2.根据权利要求1所述的待测超导器件物性测试装置，其特征在于：所述N通道低通滤波阵列由N个低通滤波器组成，其中每个低通滤波器之间相互独立。
3.根据权利要求1所述的待测超导器件物性测试装置，其特征在于：所述开关切换模块设置为X行×Y列的矩阵开关，所述矩阵开关由舌簧继电器组成，同一行各舌簧继电器的第一端连接在一起，同一列各舌簧继电器的第二端连接在一起，以实现电路的开关切换；其中X、Y均为大于1的
【技术特征摘要】
1.一种待测超导器件物性测试装置，其特征在于，所述待测超导器件物性测试装置包括：上位机、源表、开关切换模块和n通道低通滤波阵列；其中n为大于1的自然数；
2.根据权利要求1所述的待测超导器件物性测试装置，其特征在于：所述n通道低通滤波阵列由n个低通滤波器组成，其中每个低通滤波器之间相互独立。
3.根据权利要求1所述的待测超导器件物性测试装置，其特征在于：所述开关切换模块设置为x行×y列的矩阵开关，所述矩阵开关由舌簧继电器组成，同一行各舌簧继电器的第一端连接在一起，同一列各舌簧继电器的第二端连接在一起，以实现电路的开关切换；其中x、y均为大于1的自然数。
4.根据权利要求1所述的待测超导器件物性测试装置，其特征在于：所述开关切换模块与所述n通道低通滤波阵列之间，所述n通道低通滤波阵列与所述待测超导器件对应的测试端口之间均通过多通道屏蔽线缆电连接。
5.一种待测超导器件物性测试方法，基于如权利要求1～4任意一项所述的待测超导器件物性测试装置，其特征在于，所述待测超导器件物性测试方法包括：
...【专利技术属性】
技术研发人员：伍文涛，徐飞，林志荣，张辰络，王镇，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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