一种石英坩埚的卧式离心铸造方法技术

本发明专利技术涉及一种石英坩埚的卧式离心铸造方法，具体涉及石英坩埚技术领域，包括如下步骤：S1、开启卧式离心铸造设备控制为第一转速，然后控制卧式离心铸造设备的轴向与水平面上方的夹角为1‑10°，向卧式离心铸造设备的模具加入脱模料，之后进行抽真空；S2、向模具中进行第一玻璃液注入和第二玻璃液注入，之后控制卧式离心铸造设备的轴向旋转至与水平面平行，之后控制卧式离心铸造设备为第二转速并进行第三玻璃液注入，之后进行脱模得到石英坩埚。本发明专利技术提供的石英坩埚的卧式离心铸造方法，通过对工艺过程的改进有助于进一步提升所得坩埚的厚度均一性，同时进一步降低R角气泡聚集现象的出现，有利于提升所得石英坩埚的使用性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及石英坩埚，具体涉及一种石英坩埚的卧式离心铸造方法。

技术介绍

1、目前，石英坩埚是光伏行业制备太阳能电池片、发展大规模集成电路必不可少的基础工业材料，且该行业也正在向更大直径、更长寿命的方向发展。石英坩埚的内层需要直接接触高纯硅液，一般为气泡尽可能少的透明层，以避免石英坩埚表层气泡破裂导致的拉晶缺陷。目前，石英坩埚的这种结构是通过立式旋转模具真空法来控制的。具体来说，石英砂在立式模具内表面分层成型后，通过模具旋转产生的离心力使石英砂始终附着于模具内壁上，再通过电弧法熔融石英砂，配合不同的真空条件，制造出所需气泡含量的石英坩埚。然而，这种传统方法无法避免因不同位置离心力差异导致的石英玻璃液移动问题，特别是模具底部石英砂/石英玻璃液易在较大离心力作用下甩到模具r角处，造成石英坩埚底部厚度过薄，r角厚度过厚的厚度偏差现象，同时也会造成了坩埚r角表层气泡聚集的问题，既不利于产品尺寸一致性，r角表层气泡聚集也不利于单晶硅的直拉过程。因此，克服模具离心力作用，对于制造出厚度均一、r角气泡较少的石英坩埚具有重要作用。

2、离心铸造是特种铸造工艺本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石英坩埚的卧式离心铸造方法，其特征在于，所述卧式离心铸造方法包括如下步骤：

2.如权利要求1所述卧式离心铸造方法，其特征在于，所述第一转速N1为依据下式(I)计算得到：

3.如权利要求1或2所述卧式离心铸造方法，其特征在于，所述脱模料包括石英砂；

4.如权利要求1-3任一项所述卧式离心铸造方法，其特征在于，所述石英砂的注入量为将模具内表面覆盖形成0.1-3mm的粉末层。

5.如权利要求1-4任一项所述卧式离心铸造方法，其特征在于，所述抽真空的终点为至模具的绝对真空度≤0.05MPa。

6.如权利要求1-5任一项所述卧式离...

【技术特征摘要】

1.一种石英坩埚的卧式离心铸造方法，其特征在于，所述卧式离心铸造方法包括如下步骤：

2.如权利要求1所述卧式离心铸造方法，其特征在于，所述第一转速n1为依据下式(i)计算得到：

3.如权利要求1或2所述卧式离心铸造方法，其特征在于，所述脱模料包括石英砂；

4.如权利要求1-3任一项所述卧式离心铸造方法，其特征在于，所述石英砂的注入量为将模具内表面覆盖形成0.1-3mm的粉末层。

5.如权利要求1-4任一项所述卧式离心铸造方法，其特征在于，所述抽真空的终点为至模具的绝对真空度≤0.05mpa。

6.如权利要求1-5任一项所述卧式离心铸造方法，其特征在于，所述第一玻璃液注入为卧式离心铸造设备的轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨绍文，左伟仙，陶飞，吴伟华，周勇，
申请(专利权)人：浙江美晶新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：