一种用于PAN型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于PAN型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置；所述抑菌水洗干燥装置包括依次连接的第一水洗区间、第二水洗区间和风干区间；所述抑菌水洗干燥装置还包括抑菌循环系统，所述抑菌循环系统包括抑菌循环管和抑菌循环泵，所述抑菌循环管上缠绕有超导螺线圈；所述水箱上还设有振荡腔，所述振荡腔内设有压电换能器，所述振荡腔的一面连接抑菌循环管，所述振荡腔相对的另一面形成倒V字型凹陷并且连接文杜里管，所述文杜里管的出口连接矢量喷管，所述矢量喷管设置在水箱内；所述风干区间的入口处设有气帘风刀，所述气帘风刀用于沿着竖直方向吹气形成气帘，防止第二水洗区间的水汽进入风干区间。本发明专利技术解决了水洗干燥装置中的细菌问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微电子加工，具体为一种用于pan型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置。

技术介绍

1、薄膜晶体管液晶显示器(tft-lcd)由背光源(backlinght)和显示屏(panel)构成，显示屏又由上下偏振片(upper or lower polarizer)、阵列基板(array)、彩膜(colorfilter，简称cf)、液晶(liquid crystal)组成。tft-lcd的结构和显示原理如图1(a)所示，背光源发光，光通过下偏振片达到array基板。array基板上的tft(thin film transistor)器件开启并产生电场，电场驱动液晶偏转，光随着液晶偏转并照射到彩膜上。彩膜阵列由红(r)、绿(g)、蓝(b)亚像素组成，光照射到亚像素后发出r、g、b单色光，单色管透过上偏振片到达人眼，单色管叠加最终实现彩色显示。tft-lcd中，array基板是技术难度最大、工艺最复杂的组件。array基板结构布局如图1(b)所示，active area(aa区)是显示区域，左右两边是驱动器件区域(gate drive on array，简称本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于PAN型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置，所述抑菌水洗干燥装置包括依次连接的第一水洗区间、第二水洗区间和风干区间；

2.根据权利要求1所述的用于PAN型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置，其特征在于：所述风干区间内壁顶部是呈对称的斜坡，斜坡上排布有PVC板，PVC板表面涂敷有TiO2涂层，所述风干区间内还设有向TiO2涂层发射紫外光的紫外照射系统。

3.根据权利要求1所述的用于PAN型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置，其特征在于：所述超导螺线圈由NbTi合金芯以及从内向外的液氦层、第一真空层、液氮层、第二真空层组成。

4.根据权利要求1所述的...

【技术特征摘要】

1.一种用于pan型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置，所述抑菌水洗干燥装置包括依次连接的第一水洗区间、第二水洗区间和风干区间；

2.根据权利要求1所述的用于pan型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置，其特征在于：所述风干区间内壁顶部是呈对称的斜坡，斜坡上排布有pvc板，pvc板表面涂敷有tio2涂层，所述风干区间内还设有向tio2涂层发射紫外光的紫外照射系统。

3.根据权利要求1所述的用于pan型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置，其特征在于：所述超导螺线圈由nbti合金芯以及从内向外的液氦层、第一真空层、液氮层、第二真空层组成。

4.根据权利要求1所述的用于pan型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘丹，方亮，黄中浩，陈国良，吴芳，张淑芳，刘高斌，管飞，吴波，熊永，吴旭，林鸿涛，
申请(专利权)人：重庆大学，
类型：发明
国别省市：