一种针对高功率激光光束整形的空间滤波器制造技术

本技术公开了一种针对高功率激光光束整形的空间滤波器。该空间滤波器包括：导轨固定装置、水冷散热模块、内部狭缝移动块、外部狭缝移动块、空间滤波器外部框架、内部挡板和外部挡板；内部狭缝移动块、外部狭缝移动块和空间滤波器外部框架依次嵌套设置，构成狭缝区域；外部狭缝移动块和内部狭缝移动块均通过螺丝滑动连接，调整狭缝区域，使其滤除入射光水平方向的旁瓣；内部狭缝移动块和外部狭缝移动块表面镀反射吸收膜，吸收空间滤波器反射的高功率激光；内部狭缝移动块、外部狭缝移动块和空间滤波器外部框架上均设置刻度，读出狭缝区域的宽度和位置。适用于消除高功率激光产生的旁瓣且能够精确调节狭缝宽度。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于高功率激光器领域，更具体地，涉及一种针对高功率激光光束整形的空间滤波器。

技术介绍

1、近年来，为了解决我国芯片制造“卡脖子”的问题，国产光刻机的发展不断取得新的成果。极紫外euv光刻机采用的lpp光源需要通过高频率、高峰值功率和高光束质量的二氧化碳激光器轰击金属sn液滴产生。采用射频板条二氧化碳激光器作为euv的驱动光源是可行的方案之一。驱动euv的激光器均会产生功率较高的激光光束，对于普通的空间滤波器，由于狭缝的存在和激光的热效应，会在空间滤波器表面产生大量热量，从而损坏空间滤波器；空间滤波器反射的高功率激光光束也可能反射回激光谐振器中影响激光的产生。同时射频板条二氧化碳激光器多采用非稳腔，输出光斑在近场平行于电极板方向(非稳方向)和垂直于电极板方向(波导方向)会产生较大的发散角，在远场非稳方向会产生剧烈的高空间频率的二次旁瓣，这些均会对激光质量造成较大的影响。

2、驱动euv光源需要激光器输出高功率脉冲进行驱动，空间滤波器不仅要考虑激光产生的热效应，同时要考虑被狭缝反射的光入射回光腔中造成影响。除此之外为了获取高光束质量的输出激本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种针对高功率激光光束整形的空间滤波器，其特征在于，包括：空间滤波器主体、导轨固定装置和水冷散热模块；

2.如权利要求1所述的空间滤波器，其特征在于，所述外部狭缝移动块上设置一个调节螺孔，所述外部挡板和所述内部挡板上分别对应设置一个外部狭缝移动块调节通孔；

3.如权利要求1所述的空间滤波器，其特征在于，所述空间滤波器外部框架的刻度和所述外部狭缝移动块的刻度构成的读数对应所述狭缝区域的水平移动距离；

4.如权利要求3所述的空间滤波器，其特征在于，所述内部狭缝移动块的下边沿设置刻度，刻度长度为9mm，形成十分度；

5.如权利要求1所述的空间...

【技术特征摘要】

1.一种针对高功率激光光束整形的空间滤波器，其特征在于，包括：空间滤波器主体、导轨固定装置和水冷散热模块；

2.如权利要求1所述的空间滤波器，其特征在于，所述外部狭缝移动块上设置一个调节螺孔，所述外部挡板和所述内部挡板上分别对应设置一个外部狭缝移动块调节通孔；

3.如权利要求1所述的空间滤波器，其特征在于，所述空间滤波器外部框架的刻度和所述外部狭缝移动块的刻度构成的读数对应所述狭缝区域的水平移动距离；

4.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵子豪，唐霞辉，彭浩，刘彦，郑毅，徐志超，李玉洁，王修正，张志诚，
申请(专利权)人：吉林省永利激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：