【技术实现步骤摘要】
本公开涉及制备二氧化钌的,具体涉及一种二氧化钌及其制备方法与应用。
技术介绍
1、随着互联网的快速发展,电脑等电子产品已经成为人们非常重要的生产工具;而集成电路的发展是限制电子产品升级换代的重要因素,其中二氧化钌是制备集成电路的关键性材料,同时也是影响电性能的厚膜电阻浆料原料和钌系催化剂性能的原料。氯和钠离子含量过高会使得钌系催化剂或其他产品的性能降低,催化剂失去活性。二氧化钌的制备方法、杂质含量、粒径大小和比表面积等因素都会影响最终产品的性能。目前,二氧化钌的生产方法主要有氧化煅烧法和化学沉淀法等;尽管制备方法很多,但是制备过程普遍存在制备效率低、固液分离难、粒度不均一、杂质含量高等问题,并且国内能够制备出高纯二氧化钌的极少。
2、公开号为cn107758751a的专利公开了一种电阻浆料用二氧化钌的制备方法,该方法先配置氯化钌溶液,升温至60-80℃时搅拌加入分散剂,再加入碱液至ph为7-8时进行水解,溶液温度为80-90℃时陈化1-2h,然后加入分散剂和水搅拌洗涤,再进行400-500℃煅烧1-2h得到二氧化钌;此方法制
...【技术保护点】
1.一种二氧化钌的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述表面活性剂水溶液和表面活性剂乙醇溶液的温度差为8-18℃。
3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述表面活性剂水溶液的温度为50-75℃;
4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚中的至少一种;所述表面活性剂的质量为第一产物质量的1-7%。
5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述碱液的物质的量浓度为1-3mol/L;和/或所述三氯化钌溶液的质量浓度
...【技术特征摘要】
1.一种二氧化钌的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述表面活性剂水溶液和表面活性剂乙醇溶液的温度差为8-18℃。
3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述表面活性剂水溶液的温度为50-75℃;
4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚中的至少一种;所述表面活性剂的质量为第一产物质量的1-7%。
5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述碱液的物质的量浓度为1...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨皖明,陈辉,杨阳,王梦梦,陈志康,白平平,童培云,
申请(专利权)人:先导薄膜材料广东有限公司,
类型:发明
国别省市:
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