具有改进的断电条件管理的微机电传感器设备制造技术

技术编号:41712559 阅读:14 留言:0更新日期:2024-06-19 12:41
一种微机电传感器设备具有检测结构和相关联的电子电路装置,该电子电路装置被配置为当装置被供电时接收外部供电电压,并且具有生成调节电压的电压调节器和由调节电压供电的至少一个电压域。电子电路装置具有供电管理核芯,该供电管理核芯始终由外部供电电压供电,并且控制电压调节器选择性地中断电压域的供电以实现:第一断电条件,其中电压调节器被禁用;以及第二断电条件,其中电压调节器被启用,以使调节电压向上述电压域供电,第一断电条件和第二断电条件与传感器设备没有数据采集和/或处理相关联。供电管理核芯根据例如在工厂校准步骤期间可编程的控制信号在传感器设备的第一次通电时自动启用第一断电条件或第二断电条件。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种微机电传感器(mems)装置,其具有改进的断电条件管理。


技术介绍

1、以已知的方式,mems传感器设备有几种应用,被定义为“超低功率”应用,其中期望极低的功耗,例如在可穿戴或可听装置中,诸如电子手表或表带或手镯、耳机、智能隐形眼镜、智能笔等。

2、在此类应用中影响mems传感器设备的一个问题由处于通电但非激活状态时的功耗表示(即,当相同的传感器设备不处于用于数据采集和/或处理的操作阶段时发生的功耗)。

3、在这些通常用于具有低功耗的上述应用中的mems传感器设备(诸如,例如加速度计、陀螺仪、压力传感器等)的领域中,已知功耗的一部分由被称为asic(专用集成电路)的电子电路装置给出,其与对应的微机械检测结构相关联,后者被配置用于检测(多个)感兴趣的量(例如,加速度、角速度、压力等)。

4、特别地,在非激活(断电)条件下,已知上述电子电路装置的消耗主要是由于漏电流。

5、这些漏电流的值也以显著的方式变化,例如,作为温度、电压或制造工艺的函数,因此在mems传感器设备的设计中,特别是在上述低功耗应用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微机电传感器设备,包括:

2.根据权利要求1所述的微机电传感器设备,

3.根据权利要求1所述的微机电传感器设备,

4.根据权利要求1所述的微机电传感器设备,其中所述供电管理核芯包括控制逻辑,所述控制逻辑包括:

5.根据权利要求4所述的微机电传感器设备,其中所述断电过程级被配置为:响应于被所述第一断电控制信号启动,管理所述微机电传感器设备的所述第一断电条件与所述第二断电条件之间的转换。

6.根据权利要求5所述的微机电传感器设备,其中所述供电管理核芯包括:

7.根据权利要求6所述的微机电传感器设备,

...

【技术特征摘要】

1.一种微机电传感器设备,包括:

2.根据权利要求1所述的微机电传感器设备,

3.根据权利要求1所述的微机电传感器设备,

4.根据权利要求1所述的微机电传感器设备,其中所述供电管理核芯包括控制逻辑,所述控制逻辑包括:

5.根据权利要求4所述的微机电传感器设备,其中所述断电过程级被配置为:响应于被所述第一断电控制信号启动,管理所述微机电传感器设备的所述第一断电条件与所述第二断电条件之间的转换。

6.根据权利要求5所述的微机电传感器设备,其中所述供电管理核芯包括:

7.根据权利要求6所述的微机电传感器设备,

8.根据权利要求7所述的微机电传感器设备,其中所述旁路级包括逻辑模块,所述逻辑模块被配置为:在输入处接收所述配置信号,并且根据所述配置信息生成所述选择信号。

9.根据权利要求4所述的微机电传感器设备,其中所述供电管理核芯包括:

10.根据权利要求9所述的微机电传感器设备,其中在所述第一次通...

【专利技术属性】
技术研发人员:S·波利C·玛奇思
申请(专利权)人:意法半导体国际公司
类型:发明
国别省市:

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