【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及几何量精密测量，具体地，涉及角度编码器细分误差高精度校准装置、方法及系统。
技术介绍
1、角度编码器是精密工程领域中用于角度测量的关键部件，主要应用于如超精密气浮转台等高精度运动定位装置中。在实际测量过程中，编码器测角精度会受编码器自身误差、安装误差以及环境条件变化等多种因素影响。当进行小角度测量或者测角间隔不是编码器基本信号周期整数倍时，编码器细分误差成为影响测角精度的主要因素。因此，就需要对角度编码器的细分误差进行校准，以便于评估编码器细分精度进而提升其测角精度。
2、传统的角度编码器细分误差校准通常采取将其与精度等级更高的角度计量器具直接比较的方式，即通过连续比较两者之间的差值来确定细分误差。然而，目前常用的角度计量标准器具，如精密自准直仪、更高精度的编码器等，其自身也存在细分误差，因此校准精度有限。此外，采用精密自准直仪与多面棱体(或平面镜)组合装置进行校准时，角度校准范围十分受限，通常为几十角秒以内。当要校准编码器圆周上不同角度位置处的细分误差时，需要对校准系统进行多次调整，操作过程复杂、耗时。>
3、经过现有本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种角度编码器细分误差高精度校准装置，其特征在于，包括：被检转台、陪检角度计量装置；电容传感器、辅助测杆以及电容传感器夹具；
2.根据权利要求1所述的角度编码器细分误差高精度校准装置，其特征在于，所述电容传感器安装在所述辅助测杆的两端，并基于被检转台与陪检角度计量装置同轴进行轴对称，且确保辅助测杆的电容传感器测量面与被检转台轴线处于同一平面内。
3.根据权利要求1所述的角度编码器细分误差高精度校准装置，其特征在于，所述电容传感器安装在所述辅助测杆的两端，并基于被检转台与陪检角度计量装置同轴进行中心对称，且确保辅助测杆的电容传感器测量面与被检...
【技术特征摘要】
1.一种角度编码器细分误差高精度校准装置，其特征在于，包括：被检转台、陪检角度计量装置；电容传感器、辅助测杆以及电容传感器夹具；
2.根据权利要求1所述的角度编码器细分误差高精度校准装置，其特征在于，所述电容传感器安装在所述辅助测杆的两端，并基于被检转台与陪检角度计量装置同轴进行轴对称，且确保辅助测杆的电容传感器测量面与被检转台轴线处于同一平面内。
3.根据权利要求1所述的角度编码器细分误差高精度校准装置，其特征在于，所述电容传感器安装在所述辅助测杆的两端，并基于被检转台与陪检角度计量装置同轴进行中心对称，且确保辅助测杆的电容传感器测量面与被检转台轴线处于同一平面内。
4.一种角度编码器细分误差高精度校准方法，其特征在于，利用权利要求1-3任一一项所述的角度编码器细分误差高精度校准装置执行如下步骤：
5.根据权利要求4所述的角度编码器细分误差高精度校准方法，其特征在于，所述步骤s1采用：确定被检转台的角度，控制陪检角度计量装置顺时针旋转，同时被检转台逆时针旋转，陪检角度计量装置与被检转台以相同的角速度反向转动，使得电容传感器与辅助测杆相对静止，相对转动直...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁锦春，焦扬，李加胜，刘品宽，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。