用于显示单元的超颖表面波导耦合器制造技术

本揭露内容涉及一种光栅耦合器，所述光栅耦合器包括：基材，包括第一主表面及第二主表面；及位于基材的至少一个主表面上的表面起伏结构，其中：光栅耦合器在跨越至少20°的入射光角度范围内具有至少0.3(30％)的第一阶散射效率。本文中所描述的表面起伏结构能包括多个缺口，每个缺口大致上面对x方向并具有大于约50nm的曲率半径。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

1、显示器单元，举例而言，在增强实境(ar)或虚拟现实(vr)装置中使用的显示器单元，可折射指定波长的光。用于设计及生产最佳折射此光的表面的技术为可符合所需的。

技术实现思路

1、本揭露内容涉及一种光栅耦合器，光栅耦合器包括：基材，包括第一主表面及第二主表面；及位于基材的至少一个主表面上的表面起伏结构，其中：光栅耦合器在跨越至少20°的入射光角度范围内具有至少0.3(30％)的第一阶散射效率。本揭露内容亦涉及一种光栅耦合器，光栅耦合器包括：基材，包括第一主表面及第二主表面；位于基材的至少一个主表面上的表面起伏结构表面，该起伏结构在x方向上具有约0.2至约1μm的周期性且在y方向上具有约0.2μm至约1μm的周期性；其中：表面起伏结构包括多个缺口，每个缺口大致上面对x方向并具有大于约50nm的曲率半径。

【技术保护点】

1.一种光栅耦合器，所述光栅耦合器包括：

2.如权利要求1所述的光栅耦合器，其中所述x方向的所述周期性及所述y方向的所述周期性中的至少一者为自约0.4μm至约0.7μm。

3.如权利要求1或2所述的光栅耦合器，其中所述光栅耦合器具有的第一阶散射效率与所述表面起伏结构的折射率的比值为约0.05至约0.15。

4.如权利要求1-3所述的光栅耦合器，其中所述光栅耦合器在跨越至少40°的入射光角度范围内具有至少0.3(30％)的第一阶散射效率。

5.如权利要求1-4所述的光栅耦合器，其中在至少30°的入射光角度范围内，所述第一级散射效率相对于峰值效...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种光栅耦合器，所述光栅耦合器包括：

2.如权利要求1所述的光栅耦合器，其中所述x方向的所述周期性及所述y方向的所述周期性中的至少一者为自约0.4μm至约0.7μm。

3.如权利要求1或2所述的光栅耦合器，其中所述光栅耦合器具有的第一阶散射效率与所述表面起伏结构的折射率的比值为约0.05至约0.15。

4.如权利要求1-3所述的光栅耦合器，其中所述光栅耦合器在跨越至少40°的入射光角度范围内具有至少0.3(30％)的第一阶散射效率。

5.如权利要求1-4所述的光栅耦合器，其中在至少30°的入射光角度范围内，所述第一级散射效率相对于峰值效率的改变不大于20％。

6.如权利要求1-5所述的光栅耦合器，其中所述表面起伏结构在z方向上具有约0.15μm至约0.25μm的平均高度。

7.一种光栅耦合器，所述光栅耦合器包括：

8.如权利要求7所述的光栅耦合器，其中所述x方向的所述周期性及所述y方向的所述周期性中的至少一者为自约0.4μm至约0.7μm。

9.如权利要求7或8所述的光栅耦合器，其中所述光栅耦合器具有的第一阶散射效率与所述表面起伏结构的折射率的比值为自约0.05至约0.15。

10.如权利要求1-5所述的光栅耦合器，其中所述表面起伏结构在z方向上具有约0.15μm至约0.25μ...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏克鲁·埃金·科卡巴斯，卡梅伦·罗伯特·尼尔森，杨俊，亚历山大·宇彤·朱，
申请(专利权)人：康宁公司，
类型：发明
国别省市：