【技术实现步骤摘要】
本技术属于质检的,具体涉及一种碲锌镉晶体用检测仪器。
技术介绍
1、碲锌镉作为一种重要的ⅱ-ⅵ族半导体材料,碲锌镉晶体是一种重要的化合物半导体材料,为闪锌矿结构,广泛应用于空间探测、医疗影像、环境监测、核安全防护及基础科学研究等领域。然而目前采用垂直布里奇曼法制备的碲锌镉单晶中存在较多的缺陷,如夹杂、孪晶、小角度晶界、多晶等缺陷,这些缺陷对探测器性能有很大的影响。
2、对碲锌镉晶体材料内部缺陷的检测,是晶体工艺质量控制的常规手段,也是衡量和评价晶体质量的重要标准之一。
3、目前,对晶体内部缺陷的检测常常使用扫描电镜(sem)、透射电镜(tem)以及红外显微镜。sem和tem都具有优异的成像分辨率,能够很清楚的看清晶体表面及内部缺陷,但是由于目前的生长工艺,碲锌镉晶体中的缺陷较大(微米级),是影响其制成的探测器性能的主要因素之一,使用sem和tem检测碲锌镉缺陷可称之为大材小用,且不能拍摄晶片的整体样貌,无法对晶片的整体质量作出评价。一般的红外显微镜主要由:光源、滤光片、光阑、红外物镜、聚光器、玻璃目镜和成像系统、
...【技术保护点】
1.一种碲锌镉晶体用检测仪器,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器,其特征在于,
3.如权利要求2所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器,其特征在于,
4.如权利要求3所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器,其特征在于,
5.如权利要求4所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器,其特征在于,
6.如权利要求5所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器,其特征在于,
7.如权利要求1所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器,其特征在于,
【技术特征摘要】
1.一种碲锌镉晶体用检测仪器,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器,其特征在于,
3.如权利要求2所述的一种碲锌镉晶体用检测仪器,其特征在于,
4.如权利要求3所述的一种碲锌镉晶体...
【专利技术属性】
技术研发人员:张晶,孙士文,张恒,
申请(专利权)人:中科宏芯常州传感科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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