一种双扫描器的原子力显微镜系统技术方案

本技术公开了一种双扫描器的原子力显微镜系统，包括XY方向平板扫描器、Z向扫描器以及探针，所述Z向扫描器连接所述探针。本技术可以将普通原子力显微镜的三轴耦合扫描系统，分解成XY轴平面运动加上Z轴的数据反馈，从而得到样品表面三位形貌信息；三轴运动分离后，完全解决了原系统扫描器的弓形效应，避免了过度的图像后处理带来的数据失真，消除了原系统客观存在的耦合误差，使得被扫描物体的扫描图像结果与其真实形貌更为接近。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及样品扫描，特别是涉及一种双扫描器的原子力显微镜系统。

技术介绍

1、压电陶瓷是一种特殊材料，具有压电效应。压电效应是指在施加压力或电场时，材料会对应的产生电荷或发生形变。在扫描管工作时，控制电路会向压电陶瓷片施加电压，使其发生逆压电效应，陶瓷管会因为电压而产生形变，而其伸长或缩短的尺寸与所加的电压的大小成线性关系。即可以通过改变电压来控制压电陶瓷的微小伸缩。通常把三个分别代表x，y，z方向的压电陶瓷块组成三角架的形状，通过控制x，y方向伸缩达到驱动探针在样品表面扫描的目的；通过控制z方向压电陶瓷的伸缩达到控制探针与样品之间距离的目的。原子力显微镜在工作时时，在压电陶瓷扫描管下方加载一个扫描探针，使用其微小悬臂(cantilever)来检测针尖与样品之间的相互作用，作用力会使微悬臂摆动，再利用激光照射在悬臂的末端，当探针悬臂摆动时，会使反射光的位置改变而造成偏移量，此时激光检测器会记录此偏移量，偏移量就反应了样品表面的三位形貌信息，再由控制系统对该运动进行修正及控制，最后再将其表面三维形貌以图像的方式给呈现出来。

2、纳米位移台内部由一本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双扫描器的原子力显微镜系统，其特征在于，包括XY方向平板扫描器、Z向扫描器以及探针，所述Z向扫描器连接所述探针；

2.根据权利要求1所述的双扫描器的原子力显微镜系统，其特征在于，所述XY方向平板扫描器连接一个连接机构，所述连接机构连接样品台。

3.根据权利要求2所述的双扫描器的原子力显微镜系统，其特征在于，所述XY方向平板扫描器通过多个螺丝连接一个连接机构。

4.根据权利要求2所述的双扫描器的原子力显微镜系统，其特征在于，所述连接机构通过多个螺丝连接样品台。

5.根据权利要求1所述的双扫描器的原子力显微镜系统，其特征在于，所述XY方...

【技术特征摘要】

1.一种双扫描器的原子力显微镜系统，其特征在于，包括xy方向平板扫描器、z向扫描器以及探针，所述z向扫描器连接所述探针；

2.根据权利要求1所述的双扫描器的原子力显微镜系统，其特征在于，所述xy方向平板扫描器连接一个连接机构，所述连接机构连接样品台。

3.根据权利要求2所述的双扫描器的原子力显微镜系统，其特征在于，所述xy方向平板扫描器通过多个螺丝连接一个连接机构。

4.根据权利要求2所述的双扫描器的原子力显微镜系统，其特征在于，所述连接机构通过多个螺丝...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵复庆，戴玉洁，郭娟娟，胡磊，吕杰，
申请(专利权)人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院，
类型：新型
国别省市：