一种可见光传感器及其制备制造技术

技术编号:41680934 阅读:22 留言:0更新日期:2024-06-14 15:34
本发明专利技术提供了一种利用氧化锌磁控溅射镀层制备金属有机框架ZIF‑8/ZnO异质结薄膜可见光响应传感器的方法,属于光学传感器领域。所述薄膜材料可制备于多种插指电极表面,形成均一致密的薄膜结构,构建刚性,柔性可见光响应传感器。本制备方法制备的ZIF‑8/ZnO薄膜传感器具有稳定性高,重复性好,响应迅速的特点。其对可见光的电信号响应强度远远高于氧化锌薄膜本身。本方法在有机金属框架材料薄膜的应用领域具有重要的研究和实用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学传感领域,具体涉及一种基于zif-8/zno异质结薄膜的可见光传感器制备与应用。


技术介绍

1、金属有机框架(mof)是一类有机无机杂化的微孔结构的晶体配位聚合物,通过有机配体规律性地与特定金属节点通过配位作用连结形成。其中zif-8由于其易于制备,结构稳定而被广泛地研究,并应用于催化,气体传感,吸附分离等领域。

2、可见光传感器是将可见光作为探测对象,转换成输出信号的器件,目前是产量最多,应用最广泛的传感器之一。其主要有光敏电阻,光敏三极管,cmos线性可见光传感器等。对可见光传感器的需求主要集中在制造成本,体积,重量,响应速度与测量精度上。

3、本专利技术提供一种zif-8/zno异质结薄膜的可见光传感器制备方法,其对可见光波长的光信号具有十分敏感的响应,其信号变化远远高于金属氧化物本身。


技术实现思路

1、本专利技术通过磁控溅射技术沉积的金属氧化物层提供金属离子源,在叉指电极上制备zif-8/zno异质结薄膜,形成可见光传感电极。

>2、本专利技术采用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可见光传感电极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:溅射镀膜的ZnO靶材的纯度大于99.9%。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤1.3中所用溶剂为去离子水、甲醇或去离子水和甲醇的混合物。

4.根据权利要求1所述制备方法,其特征在于:所述步骤1.3中反应时间为24-72小时。

5.权利要求1-4任一所述的制备方法在作为基底的叉指电极表面制备该ZIF-8/ZnO异质结薄膜材料,获得可见光响应传感器。

【技术特征摘要】

1.一种可见光传感电极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:溅射镀膜的zno靶材的纯度大于99.9%。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤1.3中所用溶剂为去离子水、甲醇...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯亮陈濛
申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所
类型:发明
国别省市:

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