柔性功能层、衍射光波导及AR镜片的制作方法技术

技术编号:41677444 阅读:19 留言:0更新日期:2024-06-14 15:31
本申请公开一种柔性功能层、衍射光波导及AR镜片的制作方法,其柔性功能层的制作方法包括以下步骤:提供一临时基底,在临时基底的上表面涂覆柔性衬底材料,并使得柔性衬底材料固化形成一柔性衬底层;采用半导体工艺在柔性衬底层的上表面设置并处理光线传输无机材料,以在柔性衬底层的表面形成包括至少一个光线传输层的柔性主体层,得到中间组合体;将中间组合体中除临时基底外的部分从中间组合体中剥离出来,得到目标柔性功能层。本技术方案,其可解决现有衍射光波导由于采用有机物制作光线传输层,不仅视场角较小、设计衍射结构时的光学设计窗口较小,且波导性能的稳定性也较差的技术问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及波导,特别涉及一种柔性功能层、衍射光波导及ar镜片的制作方法。


技术介绍

1、现有的树脂衍射光波导无论是彩色衍射光波导还是单色衍射光波导,其光线传输层均使用纳米压印工艺制作,即光线传输层的材质主要为纳米压印胶,为有机物,而有机物的折射率通常无法做到很高的水平,现有纳米压印胶的折射率最高只能达到1.9左右。因此,较低的折射率,不仅会导致现有的衍射光波导的视场角较小,而且会导致光学设计人员在设计衍射光波导的衍射结构时,光学设计窗口较小。除此之外,由于现有波导光线传输层为有机物,而有机物的稳定性较差,例如在经过长时间阳光照射或紫外线强度高的环境后,会出现有机物黄化问题,并且在不同温度下,有机物的体积也会有较大的变化,这些均会影响现有衍射光波导的波导性能,导致其波导性能的稳定性较差。


技术实现思路

1、本申请实施例提供一种柔性功能层、衍射光波导及ar镜片的制作方法,旨在解决现有衍射光波导由于采用有机物制作光线传输层,不仅视场角较小、设计衍射结构时的光学设计窗口较小,且波导性能的稳定性也较差的技术问题。...

【技术保护点】

1.一种柔性功能层的制作方法,所述柔性功能层应用在衍射光波导中,以实现所述衍射光波导对光线的衍射作用,其特征在于,所述制作方法包括以下步骤:

2.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述光线传输无机材料为氧化钛或氧化锆。

3.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述采用半导体工艺在所述柔性衬底层的上表面设置并处理光线传输无机材料,以在所述柔性衬底层的表面形成包括至少一个光线传输层的柔性主体层,得到中间组合体的步骤包括:

4.如权利要求3所述的制作方法,其特征在于,所述采用干法刻蚀工艺对所述无机材料层进行图案刻蚀处理,以形成所述柔性主体层的一个所...

【技术特征摘要】

1.一种柔性功能层的制作方法,所述柔性功能层应用在衍射光波导中,以实现所述衍射光波导对光线的衍射作用,其特征在于,所述制作方法包括以下步骤:

2.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述光线传输无机材料为氧化钛或氧化锆。

3.如权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述采用半导体工艺在所述柔性衬底层的上表面设置并处理光线传输无机材料,以在所述柔性衬底层的表面形成包括至少一个光线传输层的柔性主体层,得到中间组合体的步骤包括:

4.如权利要求3所述的制作方法,其特征在于,所述采用干法刻蚀工艺对所述无机材料层进行图案刻蚀处理,以形成所述柔性主体层的一个所述光线传输层的步骤包括:

5.如权利要求3所述的制作方法,其特征在于,所述柔性主体层还包括光线隔离层,所述采用磁控真空镀膜方式将所述光线传输无机材料镀在所述柔性衬底层的上表面,以在所述柔性衬底层的上表面形成一无机材料层的步骤之前,还包括:

6.如权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵晋邵陈荻梁周生徐松周兴王兆民
申请(专利权)人:珠海莫界科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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