【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及数字发声芯片成品检测领域,特别是涉及一种用于像素发声单元振幅一致性检测的系统及方法。
技术介绍
1、现有的位移振幅测试方法和位移测试设备通常是针对传统的动圈式扬声器,不适用于数字发声芯片领域。数字发声芯片上含有阵列的多个像素发声单元,在生产过程中,像素发声单元的振幅一致性受到多种因素的不利影响,像素发声单元的振幅不一致容易导致数字发声芯片成品的音质劣化,因此需要进行检测。
2、现有技术中,申请号为2023117781271的专利技术专利申请中公开了一种数字发声芯片的一致性检测方法、装置以及系统,初步揭示了需要测试位移信息获取数字发声芯片的一致性信息,但没有揭示具体地的位移测试过程和计算方法,需要进行改进。
技术实现思路
1、本专利技术主要解决的技术问题是提供一种用于像素发声单元振幅一致性检测的系统及方法,实现对像素发声单元振幅一致性的检测。
2、为解决上述技术问题,本专利技术采用的一个技术方案是:提供一种用于像素发声单元振幅一致性检测的系统,包括:负载
...【技术保护点】
1.一种用于像素发声单元振幅一致性检测的系统,用于数字发声芯片的像素发声单元振幅一致性检测,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的用于像素发声单元振幅一致性检测的系统,其特征在于,所述负载及位移组件包括手动位移台及电动位移台,所述手动位移台设置在电动位移台上。
3.根据权利要求2所述的用于像素发声单元振幅一致性检测的系统,其特征在于,所述手动位移台上设置有固定晶圆的真空吸盘,通过手动位移台进行晶圆的校平。
4.根据权利要求1所述的用于像素发声单元振幅一致性检测的系统,其特征在于,所述力学信息包括位移、速度和加速度。
【技术特征摘要】
1.一种用于像素发声单元振幅一致性检测的系统,用于数字发声芯片的像素发声单元振幅一致性检测,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的用于像素发声单元振幅一致性检测的系统,其特征在于,所述负载及位移组件包括手动位移台及电动位移台,所述手动位移台设置在电动位移台上。
3.根据权利要求2所述的用于像素发声单元振幅一致性检测的系统,其特征在于,所述手动位移台上设置有固定晶圆的真空吸盘,通过手动位移台进行晶圆的校平。
4.根据权利要求1所述的用于像素发声单元振幅一致性检测的系统,其特征在于,所述力学信息包括位移、速度和加速度。
5.根据权利要求1所述的用于像素发声单元振幅一致性检测的系统,其特征在于,所述测振仪采用激光测振仪。
6.根据权利要求1所述的用于像素发声单元振幅一致性检测的系统,其特征在于,还包括探针卡和驱动板,探针卡设置在负载及位移组件上,用于对晶圆的扎针,并利用驱动板通过探针卡上的探针驱动像素发声单元发声。
<...【专利技术属性】
技术研发人员:刘长华,金翼泽,
申请(专利权)人:地球山苏州微电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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