【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及超精密抛光，更具体的说涉及多场耦合的激光电解复合抛光装置及使用该装置实现的抛光方法。
技术介绍
1、激光抛光和电解抛光是两种常见针对硬脆材料的表面抛光技术，被广泛应用于制造业、电子元器件生产和医疗器械制造等领域。激光抛光利用激光束对材料表面进行照射，实现表面的精细加工。电解抛光则是将工件浸泡在电解液中，通过电流引发的电解反应来优化表面质量。
2、尽管激光抛光和电解抛光在表面处理中取得了显著进展，但在实际应用中仍存在一些问题。传统的激光抛光在抛光过程中激光照射区域和附近的未照射区域之间会存在显著的温差，从而会产生剪切应力，影响晶体生长，导致材料内部出现缺陷，影响材料整体性能。电解抛光适用于粗抛后的精抛加工，但是在抛光过程中可能存在电解质的不均匀分布和对复杂形状工件的适应性不足的问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足之处，本专利技术提供了多场耦合的激光电解复合抛光装置以及采用该装置实现的激光电解复合抛光方法。本专利技术技术方案通过结合磁场和超声辅助技术，改进激光...
【技术保护点】
1.多场耦合的激光电解复合抛光装置，其特征在于：包括激光抛光模块(1)、磁场辅助模块(2)、电解抛光模块(3)、超声辅助模块(4)和工件夹持转移模块(5)；
2.根据权利要求1所述的多场耦合的激光电解复合抛光装置，其特征在于：所述激光抛光模块(1)包括激光发生器(101)、光纤(102)和激光准直器(103)，工作时，由激光发生器(101)产生激光，通过光纤(102)将激光传导到激光准直器(103)，再利用激光准直器(103)获得准直激光光束。
3.根据权利要求2所述的多场耦合的激光电解复合抛光装置，其特征在于：所述激光准直器(103)安装于两...
【技术特征摘要】
1.多场耦合的激光电解复合抛光装置，其特征在于：包括激光抛光模块(1)、磁场辅助模块(2)、电解抛光模块(3)、超声辅助模块(4)和工件夹持转移模块(5)；
2.根据权利要求1所述的多场耦合的激光电解复合抛光装置，其特征在于：所述激光抛光模块(1)包括激光发生器(101)、光纤(102)和激光准直器(103)，工作时，由激光发生器(101)产生激光，通过光纤(102)将激光传导到激光准直器(103)，再利用激光准直器(103)获得准直激光光束。
3.根据权利要求2所述的多场耦合的激光电解复合抛光装置，其特征在于：所述激光准直器(103)安装于两轴滑台模组(104)的滑台上，可以在左右方向上和上下方向上移动。
4.根据权利要求1所述的多场耦合的激光电解复合抛光装置，其特征在于：所述磁场辅助模块(2)包括沿竖向设置的电磁铁(201)，工作时，所述电磁铁(201)可以调节磁场强度。
5.根据权利要求1所述的多场耦合的激光电解复合抛光装置，其特征在于：所述电解抛光模块(3)包括电解槽(301)、槽盖(302)、阴极孔、工件插入口(304)、阴极棒(305)和电解液，所述槽盖(302)与电解槽(301)配套使用，所述阴极孔和工件插入口(304)均设于槽盖(302)上，所述阴极棒(305)从阴极孔插入电解槽(301)中与电解液接触；所述槽盖(302)上还设有阳极触头(303)，所述工件夹持转移模块(5)将工...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈泓谕，焦彦平，吴锚喜，朴钟宇，殷玉明，
申请(专利权)人：浙江金洲激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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