【技术实现步骤摘要】
本申请涉及磁传感器，尤其涉及隧道磁电阻技术。
技术介绍
1、磁传感器能够感知与磁现象有关的物理量的变化，并将其转变为电信号进行检测，从而直接或间接地探测磁场大小、方向、位移、角度、电流等物理信息，广泛应用于信息、电机、电力电子、能源管理、汽车、磁信息读写、工业自动控制及生物医学等领域。主流的磁传感器仍然是半导体霍尔器件，但其本身存在的灵敏度低、容易受应力和温度影响、响应频率低以及功耗大的缺点，使其主导地位正不断受到磁电阻传感器的冲击。
2、目前，隧道磁电阻技术(tmr)集各向异性磁电阻技术(amr)的高灵敏度和巨磁电阻技术(gmr)宽动态范围优点于一体，在各类磁传感器技术中表现出无可比拟的技术优势，其各项性能指标均远优于其他类型的传感器。在磁性隧道结材料中，tmr的工作机理是自旋相关的隧穿效应。磁性隧道结材料的一般结构为铁磁层/非磁绝缘层/铁磁层的三明治结构。饱和磁化时，两铁磁层的磁化方向互相平行，而通常两铁磁层的矫顽力不同，因此反向磁化时，矫顽力小的铁磁层磁化矢量首先翻转，使得两铁磁层的磁化方向变成反平行。因此，铁磁层是磁...
【技术保护点】
1.一种磁性隧道结，其特征在于，所述磁性隧道结包括衬底，以及在所述衬底上层叠设置的：
2.根据权利要求1所述的磁性隧道结，其特征在于，所述钉扎层包括：
3.根据权利要求2所述的磁性隧道结，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的磁性隧道结，其特征在于，所述缓冲层包括设置在所述衬底上的第一Ta层、设置在所述第一Ta层上的第一Ru层；和/或，
5.根据权利要求4所述的磁性隧道结，其特征在于，所述衬底的材料为碳化硅；和/或，
6.一种磁性隧道结的制备方法，其特征在于，所述磁性隧道结的制备方法包括如下步骤：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。