超大尺寸石英锭生产装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及石英玻璃生产制备技术领域，尤其涉及一种超大尺寸石英锭生产装置，用以控制石英砂原料的均匀送料过程的自动下料单元、材料成型单元、石英制锭单元，和，根据石英砂原料的粒径和密度确定初始下料速度，并根据石英砂原料在所述材料成型单元中的形状分布确定材料成型单元中旋转机构的初始旋转速度以及根据熔化效果判定是否对旋转机构的初始旋转速度进行调整并在判定需要调整所述初始旋转速度时确定旋转速度的调整量的中枢调节单元；本发明专利技术提供的超大尺寸石英锭生产装置提高熔融过程的稳定性和效率、确保产品质量的一致性和精确性，还通过对旋转机构的旋转速度和熔化参数的调整确保石英锭在成型过程中形成更加均匀、平整的表面，提高表面的平整度和质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及石英玻璃生产制备，尤其涉及一种超大尺寸石英锭生产装置。

技术介绍

1、时值目前国家能源紧缺、大力提倡生产过程的节能降耗的关键时期，同时也是国家半导体、大规模集成电路等行业处于加大力度发展的关键时期，对新材料的需求量不断增加，尤其是大尺寸和高纯新材料。石英玻璃作为一种工业基础材料，被广泛的应用于上述行业；半导体技术的飞速发展为石英玻璃行业创造了良好的发展环境，我国石英玻璃行业一半以上的产值要靠半导体行业的需求来保证。总体来看，我国半导体用石英玻璃较之国际先进水平仍然有较大差距。例如，美国的moment ive石英玻璃公司(即原gequartz)用电熔技术制造直径2米、重达4000kg的超大型石英玻璃坨，切割成石英玻璃大板是极好的制造大型石英玻璃容器的材料，至今尚无其他企业可以比拟；随着薄膜晶体管液晶显示器(tft-lcd)光掩模基板的快速发展，目前已到g10.5代，对角线尺寸3200mm，同时要求较高的透过率和应力。

2、现有通过电熔法和气炼法制作的大尺寸石英材料，均有其弊端：电熔法虽规格容易做大，但透过率低、能耗高；气炼法目前技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种超大尺寸石英锭生产装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的超大尺寸石英锭生产装置，其特征在于，所述燃烧部包括设置在所述熔化部顶部的若干燃烧器；

3.根据权利要求1所述的超大尺寸石英锭生产装置，其特征在于，所述生产检测单元包括确定石英砂原料在所述材料成型单元中形状分布的形状分析部和确定玻璃态石英熔化效果的熔化分析部；

4.根据权利要求2所述的超大尺寸石英锭生产装置，其特征在于，所述熔化部设置为上下分体的钟罩形，包括形状设置为类半球形的顶部和位于顶部下端并与顶部相连的成型侧壁；

5.根据权利要求4所述的超大尺寸石英锭生产装置，...

【技术特征摘要】

1.一种超大尺寸石英锭生产装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的超大尺寸石英锭生产装置，其特征在于，所述燃烧部包括设置在所述熔化部顶部的若干燃烧器；

3.根据权利要求1所述的超大尺寸石英锭生产装置，其特征在于，所述生产检测单元包括确定石英砂原料在所述材料成型单元中形状分布的形状分析部和确定玻璃态石英熔化效果的熔化分析部；

4.根据权利要求2所述的超大尺寸石英锭生产装置，其特征在于，所述熔化部设置为上下分体的钟罩形，包括形状设置为类半球形的顶部和位于顶部下端并与顶部相连的成型侧壁；

5.根据权利要求4所述的超大尺寸石英锭生产装置，其特征在于，所述成型部包括成型器和驱动成型器绕设定位置旋转的旋转机构；

6.根据权利要求4所述的超大尺寸石英锭生产装置，其特征在于，所述石英制锭单元包括用以调整所述成型部与所述熔化部相对位置高度的升降部，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海军，张国武，王海亮，徐秀杰，孙亚光，崔超，李建新，张晨，张源，王雅明，雷阳，田月，孙浩龙，
申请(专利权)人：锦州市士成新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：