【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硫酸生产领域，具体涉及一种基于低温悬浮结晶与氧化还原反应迭代平衡的电子级硫酸制备方法。
技术介绍
1、电子级硫酸，又称高纯硫酸、超纯硫酸，是微电子行业的关键基础化学试剂。在半导体、芯片、集成电路加工装配中，用于硅晶片的清洗和蚀刻，去除晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。因此，电子级硫酸的纯度和清洁度对电子元件的成品率、电气性能和可靠性有重要影响。随着信息化和电子产品的快速迭代，对电子级硫酸的需求量逐年升高。
2、目前，国内外制备电子级硫酸主要有两种方法：一种是工业硫酸精馏法(可分为常压精馏和减压精馏)，另一种是高纯三氧化硫气体直接吸收法。精馏法制备电子级硫酸过程包括化学预处理单元、连续蒸馏单元、超净多级过滤单元及超净罐装单元四部分。气体吸收法是指利用超纯水或超纯硫酸直接吸收洁净的三氧化硫以制备电子级硫酸。气体吸收法主要包括so3纯化、so3吸收、硫酸过滤提纯及尾气处理等四个工序。经申请人研究发现，现行高纯硫酸存在生产工艺复杂、能耗大且成本高等问题。
技术实现思路
<...【技术保护点】
1.一种基于低温悬浮结晶与氧化还原反应迭代平衡的电子级硫酸制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种基于低温悬浮结晶与氧化还原反应迭代平衡的电子级硫酸制备方法，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的一种基于低温悬浮结晶与氧化还原反应迭代平衡的电子级硫酸制备方法，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的基于低温悬浮结晶与氧化还原反应迭代平衡的电子级硫酸制备方法，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的基于低温悬浮结晶与氧化还原反应迭代平衡的电子级硫酸制备方法，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种基于低温悬浮结晶与氧化还原反应迭代平衡的电子级硫酸制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种基于低温悬浮结晶与氧化还原反应迭代平衡的电子级硫酸制备方法，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的一种基于低温悬浮结晶与氧化...
【专利技术属性】
技术研发人员：钊现花，张乐华，易嘉惠，魏静玉，黄惠婷，姚涵，雷真，陈欣羽，孟广源，张芯婉，师雅琪，胡华为，杨正武，
申请(专利权)人：华东理工大学，
类型：发明
国别省市：
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