The present invention relates to improved deep ultraviolet laser device stability, including a deep ultraviolet nonlinear frequency conversion crystal sandwiched between two rectangular prisms through the metal shell so that the three are closely combined with deep UV nonlinear frequency conversion crystal device; wherein the top surface and the bottom of the metal shell surface are respectively provided with a layer of heat sink the heat conducting medium between the metal shell cooling device and nonlinear crystal devices, by screws or adhesive to the metal shell heat sink deep UV nonlinear frequency conversion crystal devices and the tightly fixed together; cooler located between the radiator and the metal shell and the heat conducting medium and two in close contact with the cooler temperature control instrument for electric connection. The temperature control technology of deep UV nonlinear crystal control at a set temperature to keep the phase matching, effectively solves the problem of deep UV nonlinear frequency conversion lasers thermal instability problem, is to make the deep UV nonlinear frequency laser is more practical.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种稳定激光器输出的装置，特别涉及到提高波长200nm 以下的深紫外激光器输出稳定性的装置。
技术介绍
目前紫外激光器，特别是波长200nm以下的深紫外激光器，在物理、 化学、材料、信息、生命、资源、地质等学科领域均有重大的应用价值， 并将促进交叉学科多领域新发展， 一些重大科研装备急需开发，如深紫 外激光光电子能谱仪系列，包括角分辨、自旋分辩、光子能量可调、时间 /空间分辨等；深紫外激光光谱仪系列，包括拉曼光谱、荧光光谱、隧道电 子谱仪等；深紫外激光显微镜系列，包括光电子显微镜、荧光显微镜、表 面成像显微镜、近场光学显微镜等；深紫外激光光化学反应仪；深紫外激 光干涉仪；深紫外激光(光刻)直写机；纳米光刻(193nm)深紫外激光 校准系统，；另外还有多方面需求方向，如深紫外气溶胶质谱，DNA、 RNA、蛋白质分子深紫外激光操控，生物样品检测和超微结构加工修饰， 深紫外激光流式细胞检测，深紫外激光诱导的外源基因定向导入，深紫外 激光原位微区微量地质样品分析等。这些应用都需要深紫外激光器特别是 波长200nm以下的深紫外激光器作为研究工具，但目前这类激...
【技术保护点】
一种提高深紫外激光器输出稳定性的装置，包括深紫外非线性变频晶体；其特征在于，还包括深紫外非线性变频晶体器件、散热装置、冷却介质和温度控制仪；所述的深紫外非线性变频晶体器件由所述的深紫外非线性变频晶体夹在两块直角棱镜的中间，通过一金属外壳使三者紧密结合在一起组成；其中直角棱镜是按非线性变频晶体的匹配角切割，即入射光垂直于直角棱镜的直角端面入射，入射到深紫外非线性变频晶体上时满足相位匹配条件；在所述的金属外壳的顶面与底面分别设置一散热装置，所述的散热装置和非线性变频晶体器件之间有一层导热介质，通过螺钉或粘合剂把深紫外非线性变频晶体器件与所述的散热装置紧密固定在一起；所述的致冷器与温度控制仪电连接。
【技术特征摘要】
1.一种提高深紫外激光器输出稳定性的装置，包括深紫外非线性变频晶体；其特征在于，还包括深紫外非线性变频晶体器件、散热装置、冷却介质和温度控制仪；所述的深紫外非线性变频晶体器件由所述的深紫外非线性变频晶体夹在两块直角棱镜的中间，通过一金属外壳使三者紧密结合在一起组成；其中直角棱镜是按非线性变频晶体的匹配角切割，即入射光垂直于直角棱镜的直角端面入射，入射到深紫外非线性变频晶体上时满足相位匹配条件；在所述的金属外壳的顶面与底面分别设置一散热装置，所述的散热装置和非线性变频晶体器件之间有一层导热介质，通过螺钉或粘合剂把深紫外非线性变频晶体器件与所述的散热装置紧密固定在一起；所述的致冷器与温度控制仪电连接。2. 按权利要求1所述的提高深紫外激光器输出稳定性的装置，其特征 在于所述的直角棱镜材料为石英或氟化4丐。3. 按权利要求1所述的提高深紫外激光器输出稳定性的装置，其特征 在于所述深紫外非线性变频晶体包括氟硼酸铍钾、氟硼酸铍铷、氟硼酸 铍铯、硼酸钩镧、磷酸硼、硼铍酸锶、硼酸铯锂、硼酸铝钾、硼酸铯、三 硼酸锂、硼酸4皮氧钡、三硼酸钩氧钇、硼酸钓、氧釓、五硼酸钾、(3相偏硼 酸钡晶体、磷酸二氢钾或硼酸铝氧钡晶体。4. 按权利要求1所述的提高深紫外激光器输出稳定性的装置，其特征 在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：王志敏，彭钦军，周勇，许祖彦，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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