【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学测量,具体涉及一种非均匀采样白光干涉信号中心条纹位置识别方法。
技术介绍
1、白光干涉测量凭借其高精度、高空间分辨率、绝对测量等独特优点,在三维形貌测量、光学相干层析成像、光学器件测试、光纤传感测量等领域获得广泛应用。在白光干涉测量领域,随着研究的不断深入,干涉信号处理对测量系统性能的影响愈发显著。通常情况下,基于白光干涉的光程测量需对白光干涉信号中心条纹位置进行准确识别,然而未经处理的白光干涉信号通常包含采样非均匀、环境噪声、色散等因素的综合影响,难以准确识别中心条纹位置。需要通过与干涉仪相匹配的算法,对干涉信号进行处理,从而抑制采样非均匀等因素的影响,实现中心条纹位置的准确识别;
2、白光干涉信号的获取方式可分为时域与谱域两大类,其中时域方法主要指光程扫描法,谱域方法主要包括光谱探测法与光频扫描法,所采集的时域与谱域白光干涉信号互为傅里叶变换。无论采用何种方式,获取的白光干涉信号在时域通常表现为一条以中心波长为周期、振幅受到包络调制的余弦曲线,该包络通常具有一个主极大值(即中心条纹位置),与零光程差位置
...【技术保护点】
1.一种非均匀采样白光干涉信号中心条纹位置识别方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种非均匀采样白光干涉信号中心条纹位置识别方法,其特征在于,获取光程扫描量xn的辅助手段包括:电学测量、光电测距和光学干涉位移测量,不含实时反馈调节的测量方法。
3.根据权利要求1所述的一种非均匀采样白光干涉信号中心条纹位置识别方法,其特征在于,白光干涉信号I(xn)预处理包括:滤除直流项、差分光强法、绝对值光强法或平方光强法,均服务于重心法且无法抑制非均匀采样影响的数据处理流程。
4.根据权利要求1所述的一种非均匀采样白光干涉信
...【技术特征摘要】
1.一种非均匀采样白光干涉信号中心条纹位置识别方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种非均匀采样白光干涉信号中心条纹位置识别方法,其特征在于,获取光程扫描量xn的辅助手段包括:电学测量、光电测距和光学干涉位移测量,不含实时反馈调节的测量方法。
3.根据权利要求1所述的一种非均匀采样白光干涉信号中心条纹位置识别方法,其特征在于,白光干涉信号i(xn)预处理包...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱云龙,马雨濛,卢旭,郎骏毅,李卓然,党凡阳,朱瑶,张晓峻,苑勇贵,杨军,
申请(专利权)人:哈尔滨工程大学,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。