【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及加热电缆，尤其涉及一种增强型加热电缆及其制备方法。
技术介绍
1、随着半导体产业的飞速发展，对半导体制造设备的要求也日益提高。在半导体制造过程中，加热装置作为不可或缺的关键设备，用于实现高温工艺步骤，其性能和稳定性直接影响着半导体器件的质量和成品率。因此，研发一种高性能、稳定可靠的加热装置成为了当前半导体制造领域的重要研究方向。
2、传统的加热装置在半导体制造过程中虽然得到广泛应用，但仍存在一些不足。例如，高温炉虽然能够提供稳定的加热环境，但其升温速度较慢，且对能源的消耗较大；陶瓷加热器虽然具有良好的导热性和耐卤素等离子气氛的性能，但其加热均匀性和稳定性有待进一步提高；激光退火器虽然具有高效率和高精度的特点，但其设备成本和维护成本较高，且对操作人员的技能要求也较高。
3、加热电缆作为电加热盘的核心部件，传统通常采用简单的电阻加热线圈结构，其绝缘层和屏蔽层材料往往难以承受高温、高压和腐蚀性环境的考验。在高温条件下，绝缘材料容易老化、变形甚至燃烧，导致电缆性能下降，存在安全隐患。同时，传统加热电缆的屏蔽...
【技术保护点】
1.一种增强型加热电缆，包括加热管及冷端，其特征在于，所述加热管包括电阻加热线圈、绝缘层及外护套，所述电阻加热线圈的外侧设有复合层，该复合层的外侧设置有绝缘层，所述绝缘层的外表面设有屏蔽层，且该屏蔽层的外侧设有外护套，所述加热管的前端伸入至冷端的前端与其焊接连接。
2.根据权利要求1所述的一种增强型加热电缆，其特征在于，所述复合层按重量份计包括以下成分：共晶盐相变材料30～40份、铁氧体纳米颗粒5～15份。
3.根据权利要求2所述的一种增强型加热电缆，其特征在于，所述共晶盐相变材料为LiCl-KCl共晶盐，且LiCl与KCl的摩尔比为3:2，所...
【技术特征摘要】
1.一种增强型加热电缆，包括加热管及冷端，其特征在于，所述加热管包括电阻加热线圈、绝缘层及外护套，所述电阻加热线圈的外侧设有复合层，该复合层的外侧设置有绝缘层，所述绝缘层的外表面设有屏蔽层，且该屏蔽层的外侧设有外护套，所述加热管的前端伸入至冷端的前端与其焊接连接。
2.根据权利要求1所述的一种增强型加热电缆，其特征在于，所述复合层按重量份计包括以下成分：共晶盐相变材料30～40份、铁氧体纳米颗粒5～15份。
3.根据权利要求2所述的一种增强型加热电缆，其特征在于，所述共晶盐相变材料为licl-kcl共晶盐，且licl与kcl的摩尔比为3:2，所述铁氧体纳米颗粒的平均粒径在20～40纳米。
4.根据权利要求1所述的一种增强型加热电缆，其特征在于，所述绝缘层按重量份计包括以下成分：气凝胶10～20份、纳米氧化铝5～10份、氢氧化镁10～15份、抗氧化剂1～3份。
5.根据权利要求4所述的一种增强型加热电缆，其特征在于，所述气凝胶选用二氧化硅气凝胶，且气凝胶的颗粒尺寸在纳米级，所述纳米氧化铝的粒径在50～100纳米范围，所述抗氧化剂为受阻酚类、亚磷酸酯类中的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的一种增强型加热电缆，其特征在于，所述屏蔽层按重量份计包括以下成分：螺旋状蒙乃尔合金20～30份、金属化薄膜4～12...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘长江，胡阁，刘鸿睿，
申请(专利权)人：航能芯热太仓科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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