【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电学探针检测装置，具体为一种多自由度探针组件。
技术介绍
1、电学探针的结构可以根据具体的应用需求和测量方法进行设计和制造。不同的结构设计可以实现不同的电学性质测量，如电阻、电容、介电常数等。它们通常与信号接收器相连，并在的电学测量和表征方面发挥着重要的作用。电学探针通常由以下几个主要部分组成，探针尖端，探针主体，绝缘层，连接线，支撑载体。一般的，探针和连接线目前工艺较为成熟，对于探针的易用性的结构改进主要集中在支持载体结构和绝缘设计上，支撑载体是用于保护探针并提供机械稳定性的部分，载体通常用于固定探针尖端并提供支撑。目前市面上的多为一些固定探针，在芯片变温测量环境中，如果使用固定探针进行测量，并且待测物体存在移动的情况，探针尖端可能会受到不均匀的热膨胀和热应力的作用，导致探针下压力过大而电极被扎穿的问题，同时固定探针存在位置难以调节的情况，但待测物位置移动，或需要移动待测物位置时，整个探针组件需要重新安装固定，效率低。因此为提高探针组件的实用性，并防止探针尖端刺穿待测物，需要一种位置调节的探针结构。
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【技术保护点】
1.一种多自由度探针组件，其特征在于：包括滑槽板、滑块、压块、旋转轴、连接臂以及探针本体；
2.根据权利要求1所述的一种多自由度探针组件，其特征在于：该探针组件还包括绝缘底座，所述滑槽板固定于所述绝缘底座上，所述绝缘底座为聚四氟材质。
3.根据权利要求1所述的一种多自由度探针组件，其特征在于：所述旋转轴底部设有一限位块，所述旋转轴上套有一转动轴承，所述转动轴承位于限位块上方，且转动轴位于旋转孔内。
4.根据权利要求1所述的一种多自由度探针组件，其特征在于：所述连接臂中部设有一连接孔，连接孔贯穿所述连接臂，所述连接孔位于所述安装槽内，...
【技术特征摘要】
1.一种多自由度探针组件，其特征在于：包括滑槽板、滑块、压块、旋转轴、连接臂以及探针本体；
2.根据权利要求1所述的一种多自由度探针组件，其特征在于：该探针组件还包括绝缘底座，所述滑槽板固定于所述绝缘底座上，所述绝缘底座为聚四氟材质。
3.根据权利要求1所述的一种多自由度探针组件，其特征在于：所述旋转轴底部设有一限位块，所述旋转轴上套有一转动轴承，所述转动轴承位于限位块上方，且转动轴位于旋转孔内。
4.根据权利要求1所述的一种多自由度探针组件，其特征在于：所述连接臂中部设有一连接孔，连接孔贯穿所述连接臂，所述连接孔位于所述安装槽内，所述探针本体尾部为垂直...
【专利技术属性】
技术研发人员：彭宇，王杨，
申请(专利权)人：苏州科仪谦精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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