【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石英砂加工,特别是涉及一种立式高纯石英砂氯化炉。
技术介绍
1、高纯石英砂是生产高纯石英玻璃管/棒和石英玻璃坩埚的主要原材料。石英玻璃为二氧化硅单一组分的玻璃,这种玻璃的硬度高,可达模式七级,具有耐高温、膨胀系数低、抗热震性、耐腐蚀性和绝缘性良好、透光率高等一些列优良的物理和化学性能。
2、高纯石英砂的原矿为天然石英矿石,石英矿石中除了石英外,通常含有多种杂质矿物。石英本身因晶体结构缺陷或微细裂隙,往往含有某些金属或非金属元素杂质以及流体杂质。通过浮选、磁选、重选、酸浸、煅烧等手段可以把大部分杂质去除,但很难做到高纯石英砂对某些元素要求小于1ppm的标准。
3、现有的石英砂高温气化提纯装置为卧式结构,不能连续生产,而且石英砂在升温过程中,因晶体结构发生相变,体积膨胀,容易导致石英管破裂。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是,克服现有技术的缺点,提供一种立式高纯石英砂氯化炉。
2、为了解决以上技术问题,本技术的技术方案如下:
【技术保护点】
1.一种立式高纯石英砂氯化炉,其特征在于:包括:
2.根据权利要求1所述的立式高纯石英砂氯化炉,其特征在于:所述石英导向器(5)设置有若干个,且若干个所述石英导向器(5)沿所述石英玻璃管(2)的轴线方向依次等距布设。
3.根据权利要求1所述的立式高纯石英砂氯化炉,其特征在于:所述氯气输送管(6)连接在所述石英玻璃管(2)的下端,所述抽真空管(7)连接在所述石英玻璃管(2)的上端。
4.根据权利要求1所述的立式高纯石英砂氯化炉,其特征在于:所述加热系统包括固定安装在所述支撑架(1)内的保温箱体(8),所述保温箱体(8)套设在所述石英玻
...【技术特征摘要】
1.一种立式高纯石英砂氯化炉,其特征在于:包括:
2.根据权利要求1所述的立式高纯石英砂氯化炉,其特征在于:所述石英导向器(5)设置有若干个,且若干个所述石英导向器(5)沿所述石英玻璃管(2)的轴线方向依次等距布设。
3.根据权利要求1所述的立式高纯石英砂氯化炉,其特征在于:所述氯气输送管(6)连接在所述石英玻璃管(2)的下端,所述抽真空管(7)连接在所述石英玻璃管(2)的上端。
4.根据权利要求1所述的立式高纯石英砂氯化炉,其特征在于:所述加热系统包括固定安装在所述支撑架(1)内的保温箱体(8),所述保温箱体(8)套设在所述石英玻璃...
【专利技术属性】
技术研发人员:毛道顺,毛志方,操乾,刘增祥,
申请(专利权)人:江苏泓顺硅基半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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