【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学精密测量，具体涉及一种可切换光路工作方式的干涉仪。
技术介绍
1、白光干涉测量技术具有非接触测量、测量精度高、动态范围大等优势，得到了广泛的应用。迈克尔逊干涉仪是白光干涉测量技术中的常用结构，可准确获取光程/相位信息，进而解调出待测物理量。迈克尔逊干涉仪有两种常用的工作方式，其中一种如图1所示，不包含待测信息的光注入干涉仪两臂，一臂由传感器反射回待测信息，另一臂的光学延迟线调制并由反射镜反射回参考光，最后在耦合器中汇合，产生白光干涉信号，这种工作方式在光学相干层析成像(optical coherencetomography，oct)、温湿度测量、薄膜厚度测量等场景中均可应用，下文将简称为oct式干涉仪。在专利117367754a中，将此工作方式应用于光栅的轴向折射率分布调制不均匀检测。该工作方式的优势在于传感器采集到多束光程不同的光的情况下，依然可以将干涉峰与发生干涉的光根据光程关系进行分离，可有效避免或减小强度叠加的影响。但是该光路结构也存在缺点：由于测量光和参考光在不同光纤中传播，外界的振动和温度变化以及光纤本身的...
【技术保护点】
1.一种可切换光路工作方式的干涉仪，其特征在于，包括：宽谱光源模块(10)、干涉与解调模块(20)、传感探测模块(30)和采集与控制模块(40)，所述宽谱光源模块(10)将宽谱光传入干涉与解调模块(20)；
2.根据权利要求1所述的一种可切换光路工作方式的干涉仪，其特征在于，干涉与解调模块(20)包括：环形器(21)、2×2光开关(22)、第一法拉第旋镜(23)、耦合器(24)、光学延迟线(25)、第二法拉第旋镜(26)和光电探测器(27)；所述宽谱光源模块(10)与环形器(21)连接，环形器(21)的其余两端与2×2光开关(22)、耦合器(24)连接，2...
【技术特征摘要】
1.一种可切换光路工作方式的干涉仪，其特征在于，包括：宽谱光源模块(10)、干涉与解调模块(20)、传感探测模块(30)和采集与控制模块(40)，所述宽谱光源模块(10)将宽谱光传入干涉与解调模块(20)；
2.根据权利要求1所述的一种可切换光路工作方式的干涉仪，其特征在于，干涉与解调模块(20)包括：环形器(21)、2×2光开关(22)、第一法拉第旋镜(23)、耦合器(24)、光学延迟线(25)、第二法拉第旋镜(26)和光电探测器(27)；所述宽谱光源模块(10)与环形器(21)连接，环形器(21)的其余两端与2×2光开关(22)、耦合器(24)连接，...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱云龙，郎骏毅，马雨濛，卢旭，党凡阳，朱瑶，苑勇贵，杨军，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：
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