燃料液滴喷嘴组件制造技术

一种燃料液滴喷嘴组件包括第一中空主体和压电元件。第一中空主体包括入口、出口和孔，孔在入口和出口之间延伸。在使用中，燃料(例如液态锡)可以在压力下经由入口被提供到第一中空主体中。压电元件包围第一中空主体，并与第一中空主体直接接触或间接接触。在使用中，压电元件可以被配置为在激励频率下挤压第一中空主体，并且可以用于在第一中空主体中产生声波。燃料液滴喷嘴组件还可以包括第二中空主体，该第二中空主体包围压电元件，并与压电元件直接接触或间接接触。附加地或替代地，第一中空主体可以是至少由以下形成的复合主体：由金属形成的外部支撑部分；和由玻璃材料形成的内部部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种用于产生燃料液滴的燃料液滴喷嘴组件以及相关联的产生燃料液滴的方法。燃料液滴喷嘴组件可以形成激光产生等离子体(lpp)辐射源内的液滴发生器组件的部分。这种lpp辐射源可以产生极紫外(euv)辐射，并且可以形成光刻设备的部分或可以向光刻设备提供辐射。

技术介绍

1、光刻设备是构造成将期望的图案施加到衬底上的机器。光刻设备可以用于例如制造集成电路(ic)。光刻设备可以例如将图案形成装置(例如掩模)处的图案投影到设置于衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上。

2、为了将图案投影于衬底上，光刻设备可以使用电磁辐射。该辐射的波长确定可以形成于衬底上的特征的最小尺寸。相比于可以例如使用波长为193nm的辐射的光刻设备，使用波长在4-20nm的范围内(例如6.7nm或13.5nm)的极紫外(euv)辐射的光刻设备可以用于在衬底上形成较小特征。

3、一种用于产生euv辐射的辐射源是激光产生等离子体(lpp)辐射源。在lpp辐射源中，燃料液滴被用激光照射以形成将发射euv辐射的等离子体，所述燃料液滴通过使用燃料液滴喷嘴组件而产生。期望可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种燃料液滴喷嘴组件，所述燃料液滴喷嘴组件包括：

2.根据权利要求1所述的燃料液滴喷嘴组件，其中所述内部部分被所述外部支撑部分沿着所述内部部分的整个轴向范围支撑。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的燃料液滴喷嘴组件，其中所述外部支撑部分的厚度与所述内部部分的厚度相同或大于所述内部部分的厚度。

4.一种燃料液滴喷嘴组件，包括：

5.根据直接或间接引用权利要求1的前述权利要求中的任一项所述的燃料液滴喷嘴组件，其中所述内部部分包括玻璃管，和/或其中，所述内部部分包括：

6.根据直接或间接引用权利要求1的前述权利要求中的任一项所述...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种燃料液滴喷嘴组件，所述燃料液滴喷嘴组件包括：

2.根据权利要求1所述的燃料液滴喷嘴组件，其中所述内部部分被所述外部支撑部分沿着所述内部部分的整个轴向范围支撑。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的燃料液滴喷嘴组件，其中所述外部支撑部分的厚度与所述内部部分的厚度相同或大于所述内部部分的厚度。

4.一种燃料液滴喷嘴组件，包括：

5.根据直接或间接引用权利要求1的前述权利要求中的任一项所述的燃料液滴喷嘴组件，其中所述内部部分包括玻璃管，和/或其中，所述内部部分包括：

6.根据直接或间接引用权利要求1的前述权利要求中的任一项所述的燃料液滴喷嘴组件，其中所述内部部分的外表面和所述外部支撑部分的内表面被成形为使得与所述入口流体连通的第一区域和与所述出口流体连通的第二区域之间的压力差将所述内部部分和所述外部支撑部分推压在一起。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的燃料液滴喷嘴组件，其中在所述第一中空主体的外表面上限定有多个缝隙，所述多个缝隙在大致平行于所述孔的方向上延伸，并且部分地径向向内延伸到所述第一中空主体中。

8.根据前述权利要求中的任一项所述的燃料液滴喷嘴组件，所述燃料液滴喷嘴组件还包括第二中空主体，所述第二中空主体包围所述压电元件，并与所述压电元件直接接触或间接接触。

9.根据权利要求8所述的燃料液滴喷嘴组件，其中所述压电元件包括中空的圆柱形主体，并且其中，所述第二中空主体包括第一部分，所述第一部分具有用于接纳所述压电...

【专利技术属性】
技术研发人员：E·J·比伊斯，E·T·M·比拉特，R·M·J·斯温克尔斯，B·L·W·M·范德文，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：