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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及化学机械研磨用的添加剂及其制造方法、以及研磨液组合物,详细地说,涉及在半导体装置等的制造工序中重要的化学机械研磨(cmp)用的添加剂及其制造方法、以及研磨液组合物。
技术介绍
1、半导体装置几乎用于全部信息通信设备、家电产品等身边的电子设备,是现代生活中必不可少的存在。近年来,随着iot的普及、云的活用等,半导体装置担负的作用变得更大。迄今为止,以显著的速度实现了半导体芯片的高集成化、大容量化,但是对高性能化的要求没有就此停止,微细加工技术的重要性日益提高。特别是化学机械研磨(cmp)技术在实现高精度的多层布线形成上极其重要,被频繁地利用于绝缘膜的平坦化、金属塞形成、嵌入布线形成等半导体装置的制造工序的各阶段。
2、在cmp中,为了提高研磨速度和加工精度,使用研磨液。在研磨液中,一般包含磨粒、研磨促进剂、水溶性聚合物、表面活性剂等。其中,水溶性聚合物、表面活性剂等以研磨对象的平坦性的提高、表面缺陷的抑制为目的而添加至研磨液中,具有通过吸附至研磨膜的表面而保护表面并且也有助于抑制过度的研磨作用的效果。然而,存在若相对于研磨膜的吸附性过强,则不能获得足够的研磨速度的问题。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1:日本特开2000-017195号公报
6、专利文献2:日本特开2007-318072号公报
7、专利文献3:国际公开第2009/104334号
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题<
...【技术保护点】
1.一种化学机械研磨用的添加剂,其包含聚合物(P),其中,
2.根据权利要求1所述的添加剂,其中,所述聚合物(P)的数均分子量(Mn)为1,000~100,000。
3.根据权利要求1或2所述的添加剂,其中,所述聚合物(P)还含有源自从由含有酰胺基的乙烯基单体以及含有酯基的乙烯基单体构成的组中选择的至少一种单体(其中,除去所述具有-(LO)n-R基的乙烯基单体)的结构单元(B)。
4.根据权利要求3所述的添加剂,其中,所述结构单元(B)是源自(甲基)丙烯酸酯和/或(甲基)丙烯酰胺型单体的结构单元。
5.根据权利要求3或4所述的添加剂,其中,所述结构单元(B)是源自通过Fedors的推断法计算出的SP值为17~25(J/cm3)0.5的单体的结构单元。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的添加剂,其中,所述聚合物(P)为嵌段聚合物。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的添加剂,其中,
8.根据权利要求7所述的添加剂,其中,所述聚合物(P)的所述聚合物嵌段A与所述聚合物嵌段B的比率(A/B)以质量比计
9.一种研磨液组合物,其是用于绝缘层以及布线层中的至少任一方的表面平坦化的化学机械研磨用的研磨液组合物,其中,所述研磨液组合物含有权利要求1至8中任一项所述的添加剂、以及氧化铈和/或二氧化硅。
10.一种制造方法,其是包含聚合物的化学机械研磨液用添加剂的制造方法,其中,
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种化学机械研磨用的添加剂,其包含聚合物(p),其中,
2.根据权利要求1所述的添加剂,其中,所述聚合物(p)的数均分子量(mn)为1,000~100,000。
3.根据权利要求1或2所述的添加剂,其中,所述聚合物(p)还含有源自从由含有酰胺基的乙烯基单体以及含有酯基的乙烯基单体构成的组中选择的至少一种单体(其中,除去所述具有-(lo)n-r基的乙烯基单体)的结构单元(b)。
4.根据权利要求3所述的添加剂,其中,所述结构单元(b)是源自(甲基)丙烯酸酯和/或(甲基)丙烯酰胺型单体的结构单元。
5.根据权利要求3或4所述的添加剂,其中,所述结构单元(b)是源自通过fedors的推断法计算出的sp值为17...
【专利技术属性】
技术研发人员:井村纱知子,柴田晃嗣,后藤彰宏,神户慎哉,
申请(专利权)人:东亚合成株式会社,
类型:发明
国别省市:
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