一种量程可调的流量芯片的制作工艺制造技术

本发明专利技术涉及一种量程可调的流量芯片的制作工艺。本发明专利技术包括提供衬底；制作支撑结构层；沉积第一绝缘层；形成N型多晶硅半导体层；形成下层热电堆以及至少一组中心热源，下层热电堆包括上游测温元件热电堆下层热电偶和下游测温元件热电堆下层热电偶，每组中心热源包括沿横向依次设置的上游加热元件热源热电偶、中心加热元件热源热电偶和下游加热元件热源热电偶；沉积一层第二绝缘层；形成P型多晶硅半导体层；形成上层热电堆；沉积一层第三绝缘层；形成连接导线结构；沉积一层钝化层。本发明专利技术实现了不同量程的流量测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及流量传感器，尤其是指一种量程可调的流量芯片的制作工艺。

技术介绍

1、热式流量传感器是一种基于热传感作用的流量传感器，可以用来测量气体和液体的流量。它主要包括热丝传感器、补偿电路、温度补偿电路和运算放大器等组成部分。

2、由于热式流量传感器具有精度高、响应速度快、不易受介质影响等优点，在多个领域得到了广泛应用。主要应用领域包括工业自动化、空气调节、汽车工业、医疗器械、机器人等。

3、现有流量芯片由于芯片端的限制，很难通过芯片本身实现不同量程的调整，因此现有流量芯片通常只能提供固定的量程，只能通过外部电路及流道结构设计进行弥补，增加了设计和实现的复杂度，难以满足不同应用场景对于多种量程的需求。

技术实现思路

1、为此，本专利技术提供一种量程可调的流量芯片的制作工艺，实现了不同量程的流量测量。

2、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种量程可调的流量芯片的制作工艺，包括：

3、提供衬底；

4、在所述衬底表面制作支撑结构层；

5、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种量程可调的流量芯片的制作工艺，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种量程可调的流量芯片的制作工艺，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的一种量程可调的流量芯片的制作工艺，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的一种量程可调的流量芯片的制作工艺，其特征在于，所述上游加热电阻R1、上游加热电阻R2、上游加热电阻R3、中心加热电阻R4、中心加热电阻R5、中心加热电阻R6、下游加热电阻R7、下游加热电阻R8和下游加热电阻R9的电阻值不完全相等。

5.根据权利要求2所述的一种量程可调的流量芯片的制作工艺，其特征在于，通过激光烧蚀的方法...

【技术特征摘要】

1.一种量程可调的流量芯片的制作工艺，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种量程可调的流量芯片的制作工艺，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的一种量程可调的流量芯片的制作工艺，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的一种量程可调的流量芯片的制作工艺，其特征在于，所述上游加热电阻r1、上游加热电阻r2、上游加热电阻r3、中心加热电阻r4、中心加热电阻r5、中心加热电阻r6、下游加热电阻r7、下游加热电阻r8和下游加热电阻r9的电阻值不完全相等。

5.根据权利要求2所述的一种量程可调的流量芯片的制作工艺，其特征在于，通过激光烧蚀的方法对所述上游加热电阻r1、上游加热电阻r2、上游加热电阻r3、中心加热电阻r4、中心加热电阻r5、中心加热电阻r6、下游加热电阻r7、下游加热电阻r8和下游加热电阻r9进行串联和/或并联。

6.根据权利要求5所述的一种量...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨绍松，刘同庆，
申请(专利权)人：无锡芯感智半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：