一种液面同步上升提拉炉制造技术

本申请公开了一种液面同步上升提拉炉。包括坩埚壁、可滑动坩埚底、升降装置和拉晶组件；所述可滑动坩埚底与所述坩埚壁滑动连接；所述可滑动坩埚底和所述升降装置连接，通过升降装置调控可滑动坩埚底在坩埚壁内的位置；所述拉晶组件位于坩埚壁的上方。该底部可上下移动的坩埚系统，可维持液面稳定，进而维持坩埚壁的裸露程度不发生变化，为晶体生长提供一种稳态温场，防止晶体在生长过程中由于温场变化而产生的开裂。此外为该提拉炉设计了防漏液装置，以防止坩埚底部上升速度过快导致的熔液溢出以及坩埚底部与坩埚壁接触松动而导致的熔液泄露。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及一种液面同步上升提拉炉，属于晶体生长领域。

技术介绍

1、提拉法是一种主要的大尺寸晶体生长技术，提拉炉已经广泛地应用于科研机构及企业的晶体生长过程中，但以往的提拉炉中，随着晶体的生长坩埚壁会逐渐裸露，由于埚壁的温度很高，埚壁的裸露情况会很大的影响晶体和熔体的温场，温场的变化可能会导致晶体开裂。以往的方法是通过研究埚壁的裸露对温场的影响来规避埚壁的裸露效应，但由于坩埚的多样性和温场的不同，该方法较为繁琐，因此大多数时候研究者们是通过不断实验而获取的经验来生长高质量晶体，这无疑增加了试错成本。因此需要一种可以避免坩埚壁随晶体生长而裸露的提拉炉。

技术实现思路

1、本技术提供一种液面同步上升提拉炉，来避免坩埚壁的裸露导致的温场变化，以解决现有技术中的方法繁琐、试错成本高的问题。

2、一种液面同步上升提拉炉，包括坩埚壁、可滑动坩埚底、升降装置和拉晶组件；

3、所述可滑动坩埚底与所述坩埚壁滑动连接；

4、所述可滑动坩埚底和所述升降装置连接，通过升降装置调控可滑动坩埚底在坩埚本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种液面同步上升提拉炉，其特征在于，包括坩埚壁、可滑动坩埚底、升降装置和拉晶组件；

2.根据权利要求1所述的液面同步上升提拉炉，其特征在于，所述可滑动坩埚底的两端凸起为贴壁上尖下粗形状。

3.根据权利要求1所述的液面同步上升提拉炉，其特征在于，所述升降装置包括支撑杆、支撑板、螺旋杆和电机；

4.根据权利要求3所述的液面同步上升提拉炉，其特征在于，所述液面同步上升提拉炉还包括防漏液装置；

5.根据权利要求4所述的液面同步上升提拉炉，其特征在于，所述防漏液装置外壁的高度高于所述坩埚壁的高度。

6.根据权利要求4所述的液面同步上升...

【技术特征摘要】

1.一种液面同步上升提拉炉，其特征在于，包括坩埚壁、可滑动坩埚底、升降装置和拉晶组件；

2.根据权利要求1所述的液面同步上升提拉炉，其特征在于，所述可滑动坩埚底的两端凸起为贴壁上尖下粗形状。

3.根据权利要求1所述的液面同步上升提拉炉，其特征在于，所述升降装置包括支撑杆、支撑板、螺旋杆和电机；

4.根据权利要求3所述的液面同步上升提拉炉，其特征在于，所述液面同...

【专利技术属性】
技术研发人员：王燕，刘小虎，涂朝阳，李坚富，朱昭捷，
申请(专利权)人：闽都创新实验室，
类型：新型
国别省市：