电阻式蒸发舟结构制造技术

本发明专利技术公开了一种电阻式蒸发舟结构，包括：舟体，其设置第一夹持端和第二夹持端，本实施例中设置于舟体两端，用于与电极接触；蒸发区，设置在舟体的蒸发侧，用于承载并加热蒸发金属液；若干槽体，间隔的形成在蒸发区表面，其沿蒸发区的宽度方向设置；以及，形成覆盖槽体的涂层结构，涂层结构包括第一耐蚀层，第一耐蚀层中包含有导电颗粒，其导电颗粒含量高于舟体，并作为舟体表面的保护层。本发明专利技术基于开槽及涂层结构，可形成舟体导电颗粒的形成的屏障，在涂层失效后，进一步减缓熔融靶材液将脱离的导电颗粒向两侧冲刷，作为导电颗粒的停留空间，并提供导电颗粒的补充，延缓舟体的失效时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集流体，尤其涉及一种电阻式蒸发舟结构。

技术介绍

1、用金属，特别是用铝均匀镀覆的最常用的方法是高真空带式蒸镀法。使用方法是将铝丝靠近蒸发舟，铝丝便熔化并升华成铝蒸气，将待涂覆的基材通过蒸发舟上方，铝蒸气作为薄的金属层沉积在基材表面上。

2、目前，常用的蒸发舟为tba复合陶瓷相蒸发舟，基于热压成型的方式制得坯料，其主要成分为二硼化钛，氮化硼和氮化铝，其中，二硼化钛作为导电颗粒，氮化硼作为导热填充颗粒，氮化铝作为耐蚀及导热材料。

3、上述蒸发舟在镀铝过程中，因高温环境下，易受到铝液腐蚀，造成蒸发舟提前失效，同时，严重影响蒸镀效果；主要原因之一是因为熔融的铝易与氮化硼反应形成氮化铝[1]，从而在送丝的机械运动的促进下，使得铝液将二硼化钛朝向蒸发舟两侧推动，使得导电颗粒堆积在蒸发舟的两侧，减少蒸发舟中部的导电颗粒量，使得中部送丝区域电阻不断增大。

4、现有技术中，主要还是从增加耐蚀能力上来减少铝的腐蚀作用，比如在蒸发舟表面形成耐蚀涂层，来隔绝铝液与陶瓷材料接触。但是随着蒸发舟的使用，涂层会开裂失效，或从其孔隙中渗本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电阻式蒸发舟结构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构，其特征在于，舟体材质包括如下质量百分比的各组分，45-55％二硼化钛，30％-40％氮化硼，10％-15％氮化铝，以及1％-4％的烧结助剂。

3.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构，其特征在于，槽体的宽度Dn取值为0-20mm。

4.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构，其特征在于，槽体的深度Hn的取值范围为0-2mm。

5.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构，其特征在于，相邻槽体的间隔设置为3-20mm。

6.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构...

【技术特征摘要】

1.一种电阻式蒸发舟结构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构，其特征在于，舟体材质包括如下质量百分比的各组分，45-55％二硼化钛，30％-40％氮化硼，10％-15％氮化铝，以及1％-4％的烧结助剂。

3.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构，其特征在于，槽体的宽度dn取值为0-20mm。

4.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构，其特征在于，槽体的深度hn的取值范围为0-2mm。

5.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构，其特征在于，相邻槽体的间隔设置为3-20mm。

6.如权利要求1所述的电阻式蒸...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志康，伽龙，吴明忠，焦鑫鹏，殷国峰，
申请(专利权)人：浙江柔震科技有限公司，
类型：发明
国别省市：